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发明公开
PROCÉDÉ DE LITHOGRAPHIE INTERFÉRENTIELLE 审中-公开

公开(公告)号：EP3655821A1

公开(公告)日：2020-05-27

申请号：EP18737918.5

申请日：2018-07-11

申请人： Université de Technologie de Troyes

发明人： LERONDEL, Gilles , TOURY, Timothée , IBRAHIM, Joyce , RUMYANTSEVA, Anna

IPC分类号： G03F7/20