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发明公开
SEMICONDUCTOR STRUCTURES 审中-公开

公开(公告)号：EP4165681A1

公开(公告)日：2023-04-19

申请号：EP21734199.9

申请日：2021-06-15

申请人： University Of Lancaster

发明人： CARRINGTON, Peter , DELLI, Evangelia

IPC分类号： H01L21/20