公开(公告)号：EP1248093A1

公开(公告)日：2002-10-09

申请号：EP02010513.6

申请日：1995-06-13

申请人： VISIONIX LTD. ,  ABITBOL, Marc

发明人： Abitbol, Marc ,  Blum, Ariel ,  Halimi, Alain ,  Meimoun, Eli

IPC分类号： G01M11/02

CPC分类号： G01M11/0264 ,  G01B11/255 ,  G01M11/005 ,  G01M11/0235 ,  G01M11/0242

摘要： Apparatus for mapping an optical element has a light source (90) arranged to transmit a light beam toward the optical element. A beam separator (92) includes a plurality of beam separating elements operative to separate the light beam into a corresponding plurality of light beam portions. An optical sensing device (94) is operative to generate a light spot map including a plurality of light spots corresponding to said plurality of beam separating elements. An optical element characteristic computation device (96) is operative to derive at least one characteristic of the optical element from said light spot map and includes apparatus for identifying the beam separating element corresponding to an individual spot based at least partly on information other than the location of the spot. The beam separator (92) comprises an array (2) of microlenses.

摘要翻译： 映射appts。 包括产生覆盖光学元件（87）的整个活动表面的模具的光束的光源（90），以及包括多个光束分离元件的光束分离器（92），其操作以将光束分离成对应的光的部件 梁部分。 梁分离器是首选。 安装在与被测元件同轴的距离上的微透镜阵列。 appts。 还包括光学感测装置（94），用于产生包括对应于光束分离元件的几个光点的光点图。 光学感测装置包括用于投射光源的多个图像的用于微透镜阵列的扩散屏幕（88），以及用于将多个图像从屏幕上记录的电子照相机。 进一步提供计算机（96），用于处理由相机提供的图像，并产生图形和/或字母数字输出。 光源可以是相干或非相干光源，包括激光，白光源，IR光源或钨光源。 县。 分束器安装在微透镜阵列和被测元件之间。