公开(公告)号：EP1295900A2

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：EP02028222.4

申请日：1994-06-23

申请人： Vantico AG

发明人： Roth, Martin Dr. ,  Salvin, Roger Dr. ,  Meier, Kurt Dr. ,  Sailer, Bernhard Dr. ,  Wiesendanger, Rolf Dr.

IPC分类号： C08G59/14 ,  C08G59/42 ,  C08G59/04 ,  C08F290/14

CPC分类号： C09D163/10 ,  C08F290/144 ,  C08G59/066 ,  C08G59/1466 ,  C08G59/4284 ,  C08G59/4292 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038

摘要： Epoxyacrylate von postglycidylisierten Epoxyharzen sind relativ hochmolekular und photochemisch vernetzbar und können in Photoresistformulierungen ohne zusätzliche Verwendung von hochpolymeren Binderpolymeren eingesetzt werden. Derartige Resistformulierungen finden Verwendung vor allem auf dem Gebiet der Leiterplatten und Druckplatten, sind wässrig applizierbar, weisen praktisch keine Klebrigkeit auf und besitzen eine sehr gute Kantendeckung vor allem auf Leiterzügen.

摘要翻译： 现在已经发现，高分子环氧丙烯酸酯作为所谓的“缩水甘油基”环氧树脂（PGEH），例如（甲基）丙烯酸，作为抗蚀剂配方的丙烯酸酯组分是突出的，因此可以完全不使用或与 只有少量的加成物聚合物粘合剂。 现在已经发现，高分子环氧丙烯酸酯作为所谓的“缩水甘油基”环氧树脂（PGEH），例如（甲基）丙烯酸，作为抗蚀剂配方的丙烯酸酯组分是突出的，因此可以完全不使用或与 只有少量的加成物聚合物粘合剂。 环氧丙烯酸酯具有式（III）：其中：Q = H或式IV基团：R = H或Mr，R2 = H，Me或苯基，T =芳族双官能化合物，M = H或一组 式VIII或IX其中R1和R2 =如上，A =芳族双官能化合物，n = 0-300，L =式X：或XI：或= OA-OM，其中在式III中不是全部M个残基 同时= H或式XII的基团：但是在Q和L端基中不存在的M的至少10摩尔％，优选20-00摩尔％=式XIII的基团：作为抗蚀剂配方中的丙烯酸酯组分 。 包括使用式III的环氧丙烯酸酯制备“原料”（主要）或主要抗蚀剂（要求保护）的独立权利要求。

公开(公告)号：EP1295900A3

公开(公告)日：2004-01-28

申请号：EP02028222.4

申请日：1994-06-23

申请人： Vantico AG

发明人： Roth, Martin Dr. ,  Salvin, Roger Dr. ,  Meier, Kurt Dr. ,  Sailer, Bernhard Dr. ,  Wiesendanger, Rolf Dr.

IPC分类号： C08G59/14 ,  C08G59/42 ,  C08G59/04 ,  C08F290/14

CPC分类号： C09D163/10 ,  C08F290/144 ,  C08G59/066 ,  C08G59/1466 ,  C08G59/4284 ,  C08G59/4292 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038

摘要： Epoxyacrylate von postglycidylisierten Epoxyharzen sind relativ hochmolekular und photochemisch vernetzbar und können in Photoresistformulierungen ohne zusätzliche Verwendung von hochpolymeren Binderpolymeren eingesetzt werden. Derartige Resistformulierungen finden Verwendung vor allem auf dem Gebiet der Leiterplatten und Druckplatten, sind wässrig applizierbar, weisen praktisch keine Klebrigkeit auf und besitzen eine sehr gute Kantendeckung vor allem auf Leiterzügen.