公开(公告)号：EP2869411A1

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：EP14182262.7

申请日：2014-08-26

申请人： Via Mechanics, Ltd.

发明人： Yamamura, Hideho ,  Ohmae, Goichi ,  Ohtani, Nobuyoshi

IPC分类号： H01S3/036 ,  H01S3/03 ,  H01S3/07 ,  H01S3/097 ,  H01S3/134 ,  H01S3/032

CPC分类号： H01S3/032 ,  H01S3/03 ,  H01S3/0305 ,  H01S3/034 ,  H01S3/036 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/134

摘要： The present invention aims to prevent, in a gas laser resonator, the deterioration of the quality of discharges produced by reduction of the pressure in the discharge chamber (2) as well as the inflow of impurity gases, such as air, into the discharge chamber (2). This is produced by providing a buffer chamber (12), different from the discharge chamber (2).
A bracket (6) is attached to one end of a tube (1) comprising the discharge chamber interposing a sealing part, e.g. a gasket, (13) only for sealing the opening of the discharge chamber (2) and a gasket (14) for sealing both openings of the discharge chamber (2) and the buffer chamber (12). A glass plate (8) and a further bracket (9) are attached to the other end of the tube (1) interposing a gasket (15) only for sealing the opening of the discharge chamber (2) and a gasket (16) for sealing both openings of the discharge chamber (2) and the buffer chamber (12). The pressure in the buffer chamber (12) is set lower than the one of the discharge chamber (2) and than the atmospheric pressure so that to decrease the inflow of the impurity gases toward the discharge chamber (2).

摘要翻译： 本发明的目的在于防止在气体激光谐振器中通过降低放电室（2）中的压力而产生的放电质量的恶化以及诸如空气的杂质气体的流入到放电室 （2）。 这是通过设置不同于排出室（2）的缓冲室（12）产生的。 托架（6）连接到管（1）的一端，该管（1）的一端包括排放室， 用于密封排出室（2）的开口的垫圈（13）和用于密封排出室（2）和缓冲室（12）的两个开口的垫圈（14）。 玻璃板（8）和另外的支架（9）附接到管（1）的另一端，其中插入仅用于密封排出室（2）的开口的垫圈（15）和用于 密封放电室（2）和缓冲室（12）的两个开口。 缓冲室（12）中的压力被设定为低于排出室（2）的压力，而不是大气压，以便减少杂质气体朝向排出室（2）的流入。