公开(公告)号：EP1854160B1

公开(公告)日：2017-06-21

申请号：EP06711151.8

申请日：2006-02-09

申请人： YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT CO., LTD.

发明人： Van Der Boom, Milko E. ,  Shukla, Atindra D. ,  Rosenblatt, David

IPC分类号： C07F15/00 ,  G01N27/30 ,  G02F1/15

CPC分类号： C07F15/0026 ,  C07F7/1836 ,  C07F15/0053 ,  G01N27/30 ,  G01N27/305 ,  G01N27/3275 ,  G01Q80/00 ,  G02F1/15 ,  H01G9/2018 ,  H01G9/2059 ,  H01L51/0002 ,  H01L51/0086 ,  H01L51/0088 ,  Y02E10/542 ,  Y02E10/549 ,  Y10T29/49002