MAGNETOMETER USING MAGNETIC MATERIALS ON ACCELEROMETER
    1.
    发明公开
    MAGNETOMETER USING MAGNETIC MATERIALS ON ACCELEROMETER 有权
    MAGNETOMETER MIT MAGNETISCHEN MATERIALIEN AUF EINEM BESCHLEUNIGUNGSMESSER

    公开(公告)号:EP2972417A4

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:EP14768229

    申请日:2014-03-13

    申请人: INVENSENSE INC

    IPC分类号: G01P15/08

    摘要: A MEMS device including a first proof mass, a first magnetized magnetic material disposed partially on a surface of the first proof mass, a first spring anchored to a substrate to support the first proof mass, and a first sensing element coupled to the first proof mass and operable to sense the motion of the first proof mass caused by an ambient acceleration. The MEMS device further includes a second sensing element coupled to the first proof mass and operable to sense the motion of the first proof mass caused by an ambient magnetic field.

    摘要翻译: 一种MEMS装置,包括第一检测质量体,部分地设置在第一检验质量块的表面上的第一磁化磁性材料,锚固到基板以支撑第一检测质量块的第一弹簧,以及耦合到第一检测质量块的第一感测元件 并且可操作以感测由环境加速度引起的第一检验质量块的运动。 MEMS器件还包括耦合到第一检测质量块的第二感测元件,并可操作以感测由环境磁场引起的第一检验质量块的运动。

    MAGNETOMETER USING MAGNETIC MATERIALS ON ACCELEROMETER
    2.
    发明公开
    MAGNETOMETER USING MAGNETIC MATERIALS ON ACCELEROMETER 有权
    磁力仪在加速度计上使用磁性材料

    公开(公告)号:EP2972417A1

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:EP14768229.8

    申请日:2014-03-13

    申请人: InvenSense, Inc.

    IPC分类号: G01P15/08

    摘要: A MEMS device including a first proof mass, a first magnetized magnetic material disposed partially on a surface of the first proof mass, a first spring anchored to a substrate to support the first proof mass, and a first sensing element coupled to the first proof mass and operable to sense the motion of the first proof mass caused by an ambient acceleration. The MEMS device further includes a second sensing element coupled to the first proof mass and operable to sense the motion of the first proof mass caused by an ambient magnetic field.

    摘要翻译: 一种MEMS装置,包括第一检测质量,部分地设置在第一检测质量的表面上的第一磁化磁性材料,锚定到基板以支撑第一检测质量的第一弹簧以及联接到第一检测质量的第一检测元件 并且可操作以感测由环境加速引起的第一检测质量的运动。 该MEMS设备还包括第二传感元件,该第二传感元件联接到第一检测质量块并且可操作以检测由环境磁场引起的第一检测质量块的运动