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发明公开
EXTRA TALL TARGET METROLOGY 审中-实审

公开(公告)号：EP4423456A1

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP23785174.6

申请日：2023-03-28

申请人： KLA Corporation

发明人： UZIEL, Yoram , HILDESHEIM, Ariel , NOVIKOV, Alexander , MANASSEN, Amnon , LAVERT, Etay , BACHAR, Ohad , GRAUER, Yoav

IPC分类号： G01B11/27 , G01N21/88 , G01N21/956 , H01L21/66

CPC分类号： G03F7/70633 , G03F7/706845 , G03F7/706831