-
公开(公告)号：JP6127771B2
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：JP2013131949
申请日：2013-06-24
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
-
公开(公告)号：JP2017043823A
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2015169264
申请日：2015-08-28
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
Abstract: 【課題】ロールツーロールで搬送される長尺基板の搬送系の異常をタイムラグなく検知して運転を停止させることが可能な長尺基板処理装置の提供。 【解決手段】真空チャンバー内で長尺基板を搬送する搬送手段と、長尺基板を外周面に巻き付けて冷却するキャンロールと、長尺基板を処理する処理手段とからなる真空成膜装置であって、キャンロールは周方向に全周に亘って複数のガス導入路が配設されており、これら複数のガス導入路の各々は外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、該外周面のうち長尺基板が巻き付けられる領域のガス導入路にのみガスを導入するガスロータリージョイント20を備えており、ガスロータリージョイント20はガス圧検出手段33を有し、検出したガス圧が所定の条件を満たしたときに搬送手段と処理手段に停止信号を出力する長尺基板処理装置。 【選択図】図8
Abstract translation: 本发明提供了不受能停止长衬底的输送系统，其通过辊对辊输送的动作的长基片处理装置检测到的时间延迟一个异常。 的输送装置，一种用于在真空室中传送所述长衬底，并且可以滚动以冷却围绕长衬底的外周表面缠绕，在真空沉积装置，包括一个处理有用于处理所述长衬底 碲，可以滚动布置的多个气体导入周围在周向方向的整个圆周通路，该多个气体导入通路的开有与外周表面上的多个气体喷出孔 包括气体旋转接头20，用于将气体引入到仅外周面的长基片之间的气体导入通路的区域被卷绕，气体旋转接头20具有一个气体压力检测机构33，检测出的气体压力 当满足预定条件时，用于输出一个停止信号到传输装置和加工有长基板处理装置装置。 点域8
-
-
公开(公告)号：JP5970422B2
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：JP2013117480
申请日：2013-06-04
Applicant: 住友金属鉱山株式会社 , 彦山精機株式会社
IPC: C23C14/56
-
公开(公告)号：JP2016145378A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：JP2015022251
申请日：2015-02-06
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
Abstract: 【課題】 樹脂フィルムの乾燥状態を感度よく正確に測定することが可能な測定装置を提供する。 【解決手段】 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される樹脂フィルムFを外周面に部分的に巻き付けながら加熱する回転駆動式の円筒部材10からなるガス測定装置であって、円筒部材10は、その内周面に熱媒体が循環する循環路13を有すると共にその外周肉厚部に円筒部材10の中心軸O方向に延在する複数のガス流路14が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って形成されており、これら複数のガス流路14の各々は、中心軸Oに沿って略均等な間隔をあけて該外周面側で開口する複数の貫通孔15を有し、且つ円筒部材10の回転による角度位置に応じて開閉するガスロータリージョイント20に代表される開閉手段を介して圧力測定手段30に接続している。 【選択図】 図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够以高灵敏度精确测量树脂膜的干燥状态的测量装置。解决方案：在包括旋转驱动型圆柱形构件10的气体测量装置中，树脂膜F运送 在真空室中进行卷对卷加热，同时在外周面部分地滚动，筒状部件10具有循环路径13，热介质在其内周面上循环，多个气流 在圆周部件10的外周厚度部分的中心轴线O方向上延伸的路径14以大致均匀的间隔形成在所有圆周上。 多个气体流路14中的每一个具有多个开口孔15，其以大致均匀的间隔沿着中心轴线O在外周侧开口，并且通过开闭装置与压力测量装置30连接， 通过旋转接头20，其通过圆柱形构件10的旋转而根据角度位置而打开/关闭。选择的图示：图2
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016121379A
公开(公告)日：2016-07-07
申请号：JP2014261715
申请日：2014-12-25
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
IPC: C23C14/56
Abstract: 【課題】シワのない高品質の処理済み長尺基板を高い歩留まりで作製することが可能なキャンローラの提供。 【解決手段】真空チャンバー内で搬送される長尺基板Fを外周面に巻き付けて冷媒で冷却しながら該外周面に対向して設けられた熱負荷のかかる処理手段で長尺基板Fを処理するキャンローラ56であって、その回転軸方向に延在する複数のガス導入路が周方向に等間隔に全周に亘って配設されており、各ガス導入路は該外周面においてその延在方向に等間隔に開口する複数のガス放出孔を有しており、該複数のガス導入路のうち、長尺基板Fが該外周面に接触し始める角度位置から該処理手段に対向する角度位置までの間の角度範囲内に位置する少なくとも1本のガス導入路にのみガス供給手段を介して真空チャンバー外部のガスが供給されるキャンローラ56。 【選択図】図6
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够高产量地制造无皱纹的高质量处理的长尺寸基材的罐辊。解决方案：罐辊56将在真空室中输送的长尺寸基板F卷绕在围绕 外周面，并通过冷却剂冷却基板，同时通过处理装置对长尺寸基板F进行处理，处理装置设置成与外周面相对设置，并且施加有热负荷，其中多个气体导入通道以旋转方式延伸 辊的圆周方向在圆周方向上以相等的间隙设置在每个气体导入通道上，具有多个气体排出孔，该气体排出孔在外周面以与其延伸方向相等的间隙开口，气体 真空室外部仅供给至少一个气体导入通道，该气体导入通道位于距离长度方向的角位置的角度范围内 基板F开始使多个气体导入通路中的外周面接触到通过气体供给装置与基板对置的角度位置。图示：图6
-
公开(公告)号：JP2016069684A
公开(公告)日：2016-05-09
申请号：JP2014199885
申请日：2014-09-30
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
Abstract: 【課題】金属吸収膜を反応性スパッタリングで連続成膜しても特性の変動が起こり難い成膜装置を提供しかつ高輝度照明下においても回路パターンが視認され難い電極基板フィルムと積層体フィルムの各製造方法を提供する。 【解決手段】キャンロール116近傍に沿って設けられかつ長尺樹脂フィルム112に金属材と反応性ガスを用いた反応性スパッタリングで金属吸収膜を形成する第一成膜手段と該金属吸収膜上に金属膜を形成する第二成膜手段および第一成膜手段へ反応性ガスを供給する反応性ガス供給手段を備える成膜装置であって、第一成膜手段と第二成膜手段間のキャンロール外周面近傍に第一成膜手段で成膜された金属吸収膜の分光反射率を測定する反射率測定手段(反射率測定プローブ133)を設け、分光反射率の測定値と目標値とを比較して反応性ガス供給手段のガス供給量を制御するようにしたことを特徴とする。 【選択図】図7
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供即使当通过反应性溅射连续沉积金属吸收膜时几乎不发生特性变化的成膜装置，以及电路图案为电路基板膜和层叠膜的各种制造方法 即使在高亮度照度下，也几乎不可见。解决方案：一种成膜装置包括：沿着罐辊116附近设置的第一膜沉积装置，以及通过使用金属材料和反应性气体的反应性溅射形成金属吸收膜 长的树脂膜112; 用于在金属吸收膜上形成金属膜的第二膜沉积装置; 以及用于将反应性气体供应到第一膜沉积装置的反应气体供应装置。 用于测量由第一成膜装置沉积的金属吸收膜的光谱反射率的反射率测量装置（反射测量探针133）设置在第一膜沉积装置和第二膜沉积装置之间的罐辊外周表面附近 并且通过比较测量值和光谱反射率的目标值来控制反应气体供应装置的气体供应量。选择的图示：图7
-
公开(公告)号：JP2016040396A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：JP2014164105
申请日：2014-08-12
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
IPC: C23C14/56
Abstract: 【課題】簡略化された構造を有し冷却効果の高いガス放出機構付きキャンロールとこのキャンロールを用いた長尺基板処理装置および長尺基板処理方法を提供すること。 【解決手段】本発明のキャンロール56は、筒状の非回転軸76と、外周面にガス放出孔73が設けられた円筒部と一対の円形側部を有しかつ上記非回転軸76に回転可能に装着されたキャンロール本体71と、上記非回転軸の外周面に巻回されかつ配管82を介し真空チャンバー外部の冷凍機から冷媒が供給される冷却コイル(クライオコイル)80と、上記非回転軸の筒内に設けられ円筒部の内側空間72にガスを放出するガス導入管81と、キャンロール本体を回転駆動する駆動手段を具備し、キャンロール本体の円筒部と該円筒部内のガスが冷却コイルにより冷却されるようになっていることを特徴とする。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种具有结构简单，冷却效果好的气体排出机构的罐辊，以及使用罐辊的长尺寸基板处理装置和长尺寸基板处理方法。解决方案： 根据本发明的罐辊56包括：圆柱形非旋转轴76; 具有在外周面设有气体排出孔73的圆筒部和一对圆形侧部的罐辊卷体71，可旋转地安装在非旋转轴76上; 卷绕在非旋转轴的外周面的冷却盘管（冷冻线圈）80，通过配管82从真空室外的冷冻室供给冰箱; 设置在非旋转轴的气缸中并将气体排出到气缸部的内部空间72的气体导入管81; 以及驱动和转动罐辊体的驱动装置，罐体的筒体部分和气缸部分中的气体由冷却盘管冷却。图1：
-
公开(公告)号：JP2016020417A
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：JP2014143875
申请日：2014-07-14
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
Abstract: 【課題】フラーレンまたはグラフェンを粉末基材に用い、粉末基材の保有する抗酸化力が低下し難い紫外線遮蔽性粉末とその製造方法を提供する。 【解決手段】この紫外線遮蔽性粉末は、フラーレンまたはグラフェンから成る粉末基材70と、酸化ニッケルNiO、酸化錫SnO 2 から選択されかつ粉末基材を覆う第一被覆層71と、二酸化チタンTiO 2 、酸化亜鉛ZnO、酸化セリウムCeO 2 から選択されかつ第一被覆層を覆う第二被覆層72と、二酸化ケイ素SiO 2 、酸化アルミニウムAl 2 O 3 から選択されかつ被覆層を覆う被覆処理層73とで構成され、第一被覆層、第二被覆層および被覆処理層が原子層堆積法により成膜された1層以上の原子層でそれぞれ構成されていることを特徴とする。 【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种使用富勒烯或石墨烯作为粉末基质并且几乎不降低粉末基材所具有的抗氧化活性的紫外线屏蔽粉末及其制造方法。解决方案：紫外线屏蔽粉末由粉末基底70 由富勒烯或石墨烯组成的第一涂层71，选自氧化镍NiO和氧化锡SnO，并涂覆粉末基底，第二涂层72，选自二氧化钛TiO，氧化锌ZnO和氧化铈CeO，并涂覆第一涂层， 以及选自二氧化硅SiO和氧化铝AlO的涂层处理层73，并涂覆涂层。 第一涂层，第二涂层和涂层处理层分别由通过原子层沉积方法沉积的一个或多个原子层构成。图5
-
公开(公告)号：JP2016008348A
公开(公告)日：2016-01-18
申请号：JP2014131447
申请日：2014-06-26
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
Abstract: 【課題】 複数のガス放出孔から反応性ガスを均一に放出することが可能なガス放出ユニットを提供する。 【解決手段】 両端部が封止された複数のパイプが各々の壁部に設けられた開口部を介して順次連通されてなるガス放出ユニットであって、例えば3本からなるパイプ61〜63では、最も上流側のパイプ61の長手方向中央部に設けられた開口部61aから受け入れたガスを、隣接する互いに平行なパイプ同士を連通する複数の開口部を介して順次下流側のパイプ内に放出した後、最も下流側のパイプ63に設けられた複数の開口部63bから放出するように構成されており、各パイプに設けられたこれら複数の開口部は上記長手方向中央部を通り該長手方向に垂直な面に関して対称に配されており、且つこれら複数の開口部のうち放出側の複数の開口部の数及びそれらがパイプの長手方向に延在する範囲が下流側に向かうに従って増加している。 【選択図】 図4
Abstract translation: 要解决的问题：提供能够均匀地从多个排气孔排出反应性气体的气体排出单元。解决方案：提供一种气体排出单元，其中两个端部的密封件通过开口 为每个墙壁部分提供。 例如，在三管61〜63中，在从上游侧的管61的长度方向的中央部设置的开口部61a接收的气体经由多个开口顺序地排出到下游侧的配管中 使彼此平行的相邻管道连通，从设置在最下游侧的管63的多个开口63b排出气体。 为每个管设置的多个开口相对于在纵向方向上穿过中心部分并且垂直于纵向方向的平面对称地布置，并且多个开口在多个发射侧的数量 开口的长度方向的开口向着下游侧增加。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
130
records
(took 0.038 seconds)
