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公开(公告)号：JP2019111822A
公开(公告)日：2019-07-11
申请号：JP2019027054
申请日：2019-02-19
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 【課題】高速な成膜速度で生産でき、均一性に優れ、プラスチック基材と蒸着膜との密着性に優れた、耐熱性バリア性能、及び、耐湿性バリア性能、長期保存安定性等を発揮できる、高密着性透明蒸着フィルムの提供。 【解決手段】プラズマ前処理装置を設けた前処理区画と、成膜区画を隔離し、直列に併設されたローラー式連続蒸着膜成膜装置を採用して、高速搬送される基材を、前処理ローラーと、プラズマ形成ガスを供給するプラズマ供給手段及び磁気形成手段であるマグネットとで囲まれた空隙内に、基材に向けてプラズマを供給するプラズマ前処理手段により、プラズマを電気的に正電位に設定した状態で、基材表面側に供給し、基材の表面に活性のある前処理表面を形成し、直ちに基材の前処理面に連続してAL−Cの共有結合を含む酸化アルミニウムを主成分とする無機酸化物蒸着膜を高速で成膜し、高密着性透明蒸着フィルムとする。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2019049059A
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：JP2018197091
申请日：2018-10-19
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/56 , C23C16/02 , C23C16/505 , C23C14/02
Abstract: 【課題】基材表面に均一な薄膜を安定して形成できる成膜装置を提供する。 【解決手段】直列に併設されたプラズマ前処理装置、成膜装置からなる基材のローラ式連続蒸着膜成膜装置1において、チャンバ内に基材搬送室12A、前処理室12B、成膜室12Cが形成され、基材Sは巻き出しローラ13から、ガイドロール14a〜14dを介して直列に併設されたプラズマ前処理ローラ20及び成膜ローラ25に巻きつけられ、巻き取りローラ15で巻き取られる。前処理室では、ノズル22a、22bからプラズマ形成ガスを前処理ローラとノズルと磁気形成手段であるマグネット21とで囲まれた空隙内に、基材Sに向けて供給し、基材表面側に配置された電極間に電力が供給され、プラズマPが発生し、基材Sの表面に活性のある前処理表面が形成される。その前処理した基材の前処理面に、成膜室12Cで物理蒸着法等により無機酸化物を高速で成膜する。 【選択図】図1
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