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公开(公告)号：JP2018020390A
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：JP2016151858
申请日：2016-08-02
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B24B9/00 , H01L21/304 , B24B21/00
Abstract: 【課題】ウェハなどの基板の研磨中に研磨具の位置ずれを確実に防止することができ、滑らかな垂直面を基板のエッジ部に形成することができる研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨装置は、基板Wを保持して回転させる基板保持部1と、基板Wのエッジ部を帯状の研磨具5を用いて研磨する少なくとも1つの研磨ユニット7とを備える。研磨ユニット7は、研磨具5の裏面を支持する外周面を有する円盤ヘッド12と、研磨具5を円盤ヘッド12の外周面に押し付ける押し付けバンド14と、押し付けバンド14を支持する複数のバンドガイドローラー15A〜15Dとを備える。 【選択図】図1
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