公开(公告)号：JP5165131B2

公开(公告)日：2013-03-21

申请号：JP2012121793

申请日：2012-05-29

Applicant: 株式会社ジェイ・イー・ティ

Inventor： 倫正 舟橋 ,  賢二 乙訓 ,  裕樹 江戸 ,  秀明 鈴木

IPC: H01L21/027 ,  G02F1/13 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/67051 ,  G03F7/422

公开(公告)号：JP4997058B2

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：JP2007266820

申请日：2007-10-12

Applicant: 株式会社ジェイ・イー・ティ

Inventor： 正記 佐藤 ,  敏明 富澤 ,  哲也 清水 ,  雄二 熊谷 ,  将彦 稲堂丸 ,  倫正 舟橋

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306