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公开(公告)号:JP6154178B2
公开(公告)日:2017-06-28
申请号:JP2013085299
申请日:2013-04-15
申请人: バット ホールディング アーゲー , バット ホールディング アーゲー
发明人: ガイサー フリードリッヒ , ガイサー フリードリッヒ , ブレッハ トーマス , ブレッハ トーマス
CPC分类号: F16K3/14 , F16K3/0281 , F16K3/06
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公开(公告)号:JP2017512946A
公开(公告)日:2017-05-25
申请号:JP2016550733
申请日:2015-02-27
申请人: バット ホールディング アーゲー , バット ホールディング アーゲー
发明人: エールネ フローリアン , エールネ フローリアン , バックマン クリストフ , バックマン クリストフ , ネッツァー マルティン , ネッツァー マルティン , ヴォザセク マティアス , ヴォザセク マティアス
CPC分类号: F16K3/0263 , F16K3/0218 , F16K3/0254 , F16K51/02 , H01L21/67126
摘要: 【課題】真空バルブのさらなるコンパクト化を図りうるバルブロッドを提供する。【解決手段】真空バルブのためのバルブロッド(12)は、前記真空バルブの閉塞要素(5)のための第1連結部(40)および前記真空バルブのバルブドライバのための第2連結部(41)を有する。バルブロッド(12)は、その少なくとも一部が弾性係数250GPa以上、または350GPa以上の弾性係数を有する素材(42)を含んでいる。【選択図】図1
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公开(公告)号:JP2016512872A
公开(公告)日:2016-05-09
申请号:JP2016503610
申请日:2014-03-12
申请人: バット ホールディング アーゲー , バット ホールディング アーゲー
发明人: シェーン マティアス , シェーン マティアス
IPC分类号: F16K3/18 , F16K31/122 , F16K51/02
CPC分类号: F16K31/122 , F16K3/188 , F16K51/02
摘要: 本発明は、第1の閉鎖要素(1a)を第1の閉鎖要素位置(C1)と、第2の閉鎖要素位置(C2)と、両閉鎖要素位置(C1,C2)の間に位置する中間の閉鎖要素位置(C3)との間で変位させるための少なくとも1つのピストン・シリンダ装置(3)を備えた真空弁に関する。第1の閉鎖要素(1a)に機械的に連結されたピストン・シリンダ装置(3)は、シリンダユニット(4)とピストンユニット(7)とを有している。シリンダユニット(4)とピストンユニット(7)とに対して相対的に、第1のシール体(10a;11a)と第2のシール体(10b;11b)とが、互いに独立して軸方向に移動可能である。シリンダユニット(4)に設けられた第1の軸方向ストッパ(15a)と、ピストンユニット(7)に設けられた第3の軸方向ストッパ(16a)とは、中間の閉鎖要素位置(C3)において、第2の圧力室(5b)の方向への第1のシール体(10a;11a)の軸方向の可動性が、第1の軸方向ストッパ(15a)と第3の軸方向ストッパ(16a)とによって一緒に制限されているように、互いに相対的に配置されている。シリンダユニット(4)に設けられた第2の軸方向ストッパ(15b)と、ピストンユニット(7)に設けられた第4の軸方向ストッパ(16b)とは、中間の閉鎖要素位置(C3)において、第1の圧力室(5a)の方向への第2のシール体(10b;11b)の軸方向の可動性が、第2の軸方向ストッパ(15b)と第4の軸方向ストッパ(16b)とによって一緒に制限されているように、互いに相対的に配置されている。
摘要翻译: 本发明包括一个第一封闭元件(1A)的第一闭合元件位置(C1),中间和第二封闭元件位置(C2),其位于所述两个闭合元件之间的位置(C1,C2) 关于闭合元件位置(C3)和真空阀包括至少一个活塞 - 缸装置(3),用于移位之间。 第一活塞 - 缸单元机械地联接到闭合元件(1A)(3)具有圆筒部(4)和活塞单元(7)。 相对于所述气缸部(4)和活塞单元(7),第一密封部件(10A; 11a)和一第二密封构件;和(10B 11B),但轴向彼此独立地 它是可移动的。 在缸单元(4)(15A)提供第一轴向止挡,并且其中所述第三轴向止挡设置在所述活塞单元(7)(16A)上,在封闭元件位置的中间(C3) 有第一密封部件在第二压力室(5b)的方向;轴向(10A 11A)的迁移率是第一轴向止挡(15a)和所述第三轴向止挡(16A) 如由结合在一起,它们被相对于彼此地布置。 在缸单元中设置的第二轴向止挡(4)(15B),和在活塞单元(7)中提供的第四轴向止挡件(16b)的,在所述封闭元件的位置的中间(C3) 中,第二密封部件在第一压力室(5a)的方向(10B; 11B)移动,在所述第二轴向止挡和(15B)的第四轴向止挡的轴向方向(16b)的 如由结合在一起,它们被相对于彼此地布置。
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公开(公告)号:JP2015534023A
公开(公告)日:2015-11-26
申请号:JP2015541030
申请日:2013-10-22
申请人: バット ホールディング アーゲー , バット ホールディング アーゲー
摘要: 【課題】低コストで、安定かつ信頼度の高い設計が可能な真空バルブを提供する。【解決手段】真空バルブは、縦軸線(20)を有し、少なくとも1つのバルブ開口部(2,3)を閉止するための少なくとも1つの閉止部材(9,10)を支持し、縦駆動部(18)により、縦軸線(20)に平行な縦方向(21)に、真空バルブが開放している始端位置から中間位置まで移動可能であり、横駆動部(19)により、中間位置から真空バルブが閉鎖している少なくとも1つの終端位置まで移動可能なバルブロッド(11)を備えている。少なくとも1つのガイド部材(24)により、縦方向(21)に移動可能に案内される伝達部材(23)がバルブロッド(11)に取付けられている。横駆動部(19)の少なくとも1つの駆動部材(26)は、ガイド部材(24)と係合し、ガイド部材(24)は、少なくとも1つの駆動部材(26)を介して、横駆動部(19)により、横方向(22)に移動可能であり、ガイド部材(24)は、横方向(22)に動作している間、伝達部材(23)と共に移動する。【選択図】図21
摘要翻译: 低成本,提供一种真空阀,其能够稳定地和可靠的设计。 一种真空阀具有纵向轴线(20),支撑至少一个闭合部件,用于关闭至少一个阀开口(2,3)(9,10),垂直驱动单元 由(18),在纵向方向上的垂直轴(21)平行于(20),是从在其中真空阀被打开到中间位置的起始位置移动,水平驱动单元(19),从所述中间位置的真空 阀设置有可移动的阀杆(11)连接到至少一个端部位置被关闭。 至少一个引导构件(24),可纵向运动由传送构件(21)(23)引导被附接到阀杆(11)。 横向驱动单元(19)(26)的至少一个驱动构件接合所述引导构件(24),所述引导构件(24),通过至少一个驱动构件(26),该横向驱动单元( 19)在横向方向(22)移动,所述引导部件(24),而在横向方向(22)运行时,移动与传动部件(23)。 .The 21
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公开(公告)号:JP2015021618A
公开(公告)日:2015-02-02
申请号:JP2014137640
申请日:2014-07-03
发明人: HELMUT BERNHART , MAEHR OLIVER
摘要: 【課題】これまでとは異なる方法で閉塞要素の恒久的な接地を可能にする、前述のような用途のバルブを提供する。【解決手段】閉塞部材3が閉位置においてシール4を介在させてバルブシートに対して密着する。支持部材5は閉位置において対向シートに支持される。バルブ1は閉位置において閉塞部材3を電気的に接地するための接地要素8を備えている。接地要素8がバルブ1の第1構成要素(閉塞部材3、支持部材5、バルブシートまたは対向シート)に固定されている。接地要素8が接触要素と、接触要素に対して連結されている支持要素とを備えている。接触要素および支持要素は相互に異なる材料または材料組成により構成され、接触要素が支持要素よりも柔軟性が高い。【選択図】図1
摘要翻译: 要解决的问题:提供一种能够通过与常规方法不同的方法永久性地将封闭构件接地的阀。解决方案:封闭构件3在关闭位置通过密封件4紧密地保持与阀座接触。 支撑构件5在关闭位置由支座座支撑。 阀1设置有接地元件8,以将封闭构件3电气接地于关闭位置。 接地元件8固定到阀1的第一部件(闭合部件3,支撑部件5,阀座或邻接座)。接地元件8包括接触元件和连接到接触元件的支撑元件。 接触元件和支撑元件由彼此不同的材料或材料组成构成,并且接触元件具有比支撑元件高的柔性。
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公开(公告)号:JP2017116103A
公开(公告)日:2017-06-29
申请号:JP2016246012
申请日:2016-12-19
发明人: MARC WELLNER , FABIAN STEGER
摘要: 【課題】横方向の座屈に対してメンブレンベローズを案内可能なメンブレンベローズを提供する。【解決手段】メンブレンベローズが、前記メンブレンベローズの延在範囲を少なくとも部分的に取り囲む管部材(14)を摺動案内するための少なくとも1つの摺動案内機構を備えている。摺動案内機構は、メンブレンベローズの縦軸線(5)のまわりの周方向について180°以下の範囲にわたり延在し、かつ、案内部(12)および前記案内部(12)から縦軸線(5)の方向に突出する支持部(13)を有する少なくとも2つのリング部材(10)(11)を備えている。支持部(13)が隣り合うメンブレン(1)の間隙(6)に突出する。案内部(12)が隣り合うメンブレン(1)の径方向外側まで延在し、かつ、メンブレンベローズの縦軸線(5)から離れる方向に向き、管部材(14)の内側面(15)を摺動案内するための案内面(16)を有している。【選択図】図5
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公开(公告)号:JP2016504540A
公开(公告)日:2016-02-12
申请号:JP2015545686
申请日:2013-11-13
申请人: バット ホールディング アーゲー , バット ホールディング アーゲー
发明人: デュエリ,ベルンハルト , ブレッハ,トーマス , ノイマイル,アントン , アングスト,クリストフ
IPC分类号: F16K51/02
CPC分类号: F16K27/044 , F16K3/0272 , F16K3/0281 , F16K51/02 , Y10T137/6072
摘要: 【課題】簡易にかつ低廉に構成可能な真空バルブを提供する。【解決手段】バルブハウジング(1)が、バルブ開口部(4)を構成する窓開口部(20)が穿設された金属板からなる隔壁部(19)を有している。内部空間を有する真空ユニット(27)の連結フランジ(28)に対してネジ止めによって連結可能に構成されているフランジリング(21)によりバルブ開口部(4)が囲まれている。フランジリング(21)が、真空バルブの閉状態において閉塞要素(3)が押し付けられるバルブシート(6)を備えている【選択図】図1
摘要翻译: 为了提供简单且廉价地配置的真空阀。 一个阀壳(1)具有构成阀开口(4)(20)由钻孔金属板(19)的分隔壁窗口开口。 阀开口(4)是由被配置为通过螺钉(21)相对于所述真空单元(27)的耦合凸缘(28),其连接具有内部空间的凸缘环环绕。 凸缘环(21)是,背景封闭元件(3)设置有阀座(6),以在真空阀1的关闭状态下被按压
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公开(公告)号:JP5675314B2
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:JP2010278302
申请日:2010-12-14
申请人: バット ホールディング アーゲー , バット ホールディング アーゲー
发明人: メーア オリバー , メーア オリバー , メセリ タメル , メセリ タメル , ヴァイス マーティン , ヴァイス マーティン
CPC分类号: F16K3/0227 , F16K27/044 , F16K51/02
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公开(公告)号:JP5655002B2
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:JP2011539844
申请日:2009-12-04
申请人: バット ホールディング アーゲー , バット ホールディング アーゲー
发明人: エルネ フローリアン , エルネ フローリアン , ブレッハ トーマス , ブレッハ トーマス
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公开(公告)号:JP2017512285A
公开(公告)日:2017-05-18
申请号:JP2016554496
申请日:2015-02-06
申请人: バット ホールディング アーゲー , バット ホールディング アーゲー
发明人: ワグネ セドリック , ワグネ セドリック , ズマー カールハインツ , ズマー カールハインツ , フレーナー ハンスペーター , フレーナー ハンスペーター , ツィッカー ミヒャエル , ツィッカー ミヒャエル
CPC分类号: F16K51/02 , B01D39/08 , B01D39/2044 , B01D46/0012 , B01D2239/0613 , F16K3/0218 , F16K3/0227 , F16K3/18 , F16K3/314
摘要: 本発明は、真空バルブ(1)であって、真空バルブ(1)の第1の構成部材(10)を第2の構成部材(11)に機械的に連結して結合するねじ要素(9a;9b)を備える真空バルブ(1)に関する。ねじ要素(9a;9b)は、力伝達表面区分(18)を、第1のねじ山(14a;14b)を有するねじ山表面区分(12)と、第1のガス領域(5)内に配置される、工具(17)用の係合表面区分(15)との間に有している。第1の構成部材(10)と第2の構成部材(11)とは、第1のねじ山(14a;14b)と、第2の構成部材(11)に配設される第2のねじ山(21a;21b)との間の、第1の構成部材(11)の貫通穴(20)を通して実施されるねじ山を介した係合により形状結合式に機械的に連結可能である。ねじ要素(9a;9b)は、シール表面区分(24)をねじ山表面区分(12)と係合表面区分(15)との間に有している。シール表面区分(24)と、第1の構成部材(10)のシール面(25)との間には、密封作用を奏するシール要素(26a;26b)が配置されており、第1のガス領域(5)は、ねじ山表面区分(12)が配置されている第3のガス領域(27)から、ガス密封作用又は粒子密封作用をもって仕切られている。
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