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    ワイヤソー及びワイヤソーによる材料の切断方法
    1.
    发明专利
    ワイヤソー及びワイヤソーによる材料の切断方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018065247A

    公开(公告)日：2018-04-26

    申请号：JP2018018861

    申请日：2018-02-06

    申请人： マイヤー ブルガー (スイッツァランド) アーゲー

    发明人： フーゲンベルゲル ステファン ,  ハイニゲル クリストフ

    IPC分类号： H01L21/304 ,  B24B27/06

    CPC分类号： B23D57/0007 ,  B23D57/0053 ,  B23D57/0061 ,  B23D61/185 ,  B28D5/045

    摘要： 【課題】切断ワイヤの破損を防止するワイヤソーを提供する。 【解決手段】切断エリア13と、ワイヤ供給ユニット5とワイヤ受入ユニット6とを有し、切断ワイヤ3を第1、第2方向に案内するワイヤ管理システム7とを含み、ワイヤ供給ユニット5が、保管スプール2を駆動させて、その回転軸線2bを中心として回転する回転駆動装置11であって、保管スプール2は、切断ワイヤ3の一部分を一時的に受け入れ、ワイヤソーの使用時には、新しいワイヤを装填するための収容スプール1が、着脱可能式に取り付けられる、回転駆動装置と、ワイヤソーの使用時には、10本以下の巻線が相互に保管スプール2上で重複するまたは、保管スプール2の上の巻線が収容スプール1の上の巻線よりも低い密度を有するように、切断ワイヤ3を保管スプール2へ案内するワイヤ案内手段9と、を含む。 【選択図】図1

    ワイヤソー
    3.
    发明专利
    ワイヤソー 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019535540A

    公开(公告)日：2019-12-12

    申请号：JP2019522761

    申请日：2017-10-26

    申请人： マイヤー ブルガー (スイッツァランド) アーゲー

    发明人： ベルガー マルクス ,  ベシュレル アレックス

    IPC分类号： B28D5/04 ,  B28D1/08 ,  B24B41/02 ,  H01L21/304 ,  B24B27/06

    摘要： 本発明は、ワイヤソー(10)に関し、当該ワイヤソーは、カッティングワイヤから形成されたカッティング領域(19)を支持するための第1ワイヤガイドローラ(1)及び第2ワイヤガイドローラ(2)と、ワイヤガイドローラ(1、2)を支持し、第1材料でできているフレーム(3)と、を備え、ワイヤガイドローラ(1、2)は、ベアリング(4、5)を介してフレーム(3)に回転可能に装着されている、ワイヤソーにおいて、ワイヤソー(10)は、少なくとも1つの共通ベアリングブロック(6)を備え、当該少なくとも1つの共通ベアリングブロック(6)内に、第1ワイヤガイドローラ(1)を支持する第1ベアリング(4)及び第2ワイヤガイドローラ(2)を支持する第2ベアリング(5)が収容されており、少なくとも1つの共通ベアリングブロック(6)は、第2材料からできていてフレーム(3)に取り付けられており、第2材料のヤング率は、第1材料のヤング率よりも大きく、好ましくはその少なくとも3倍であることを特徴とする。