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公开(公告)号：JP2021165212A
公开(公告)日：2021-10-14
申请号：JP2020068303
申请日：2020-04-06
申请人： 日揮触媒化成株式会社
IPC分类号： B24B37/00 , C09K3/14 , C01B33/152
摘要： 【課題】シリカ系基板あるいはNiPメッキされた被研磨基板等に対して、高い研磨速度及び高面精度を達成することが可能なシリカ系粒子群を含むシリカ系粒子分散液の提供。 【解決手段】異形シリカ系粒子および非異形シリカ系粒子からなるシリカ系粒子群を含むシリカ系粒子分散液であって、前記異形シリカ系粒子は、内部に細孔を有するコアおよびそれを被覆する被覆シリカ層を有し、前記シリカ系粒子群は下記[1]〜[3]を満たすシリカ系粒子分散液によって上記課題を解決する。[1]重量平均粒子径(D 1 )が60〜600nmであり、比表面積換算粒子径(D 2 )が15〜300nmであること。[2]重量平均粒子径(D 1 )と投影面積相当粒子径(D 3 )との比で表される異形度D(D=D 1 /D 3 )が1.1〜5.0の範囲にあること。[3]体積基準粒子径分布を波形分離すると、分離ピークが3つ以上検出される多峰分布となること。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021134098A
公开(公告)日：2021-09-13
申请号：JP2020029342
申请日：2020-02-25
申请人： 日揮触媒化成株式会社
IPC分类号： C01B33/143
摘要： 【課題】研磨剤として好ましく用いることができる、不純物を含まないシリカ微粒子分散液の提供。 【解決手段】下記1)および2)を満たすシリカ微粒子が溶媒に分散してなるシリカ微粒子分散液。1)前記シリカ微粒子の窒素吸着法により測定した比表面積(S B )と、前記シリカ微粒子の次式[S C (m 2 /g)=6000/D p (nm)・ρ]で表される比表面積(S C )との比(S B /S C )が0.9〜1.2の範囲にあること。(但し、Dp:シリカ微粒子の透過型電子顕微鏡写真から測定して得られた平均粒子径(nm)、ρ:密度(g/ml)である。)2)前記シリカ微粒子に含まれる下記金属成分のSiO 2 当たりの含有率が、何れも5ppm未満(金属換算)であること。Cu、Ni、Ag、Al、Ca、Cr、Fe、Mg、Na、K、Pb、TiおよびZn。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021127359A
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：JP2020020858
申请日：2020-02-10
申请人： 日揮触媒化成株式会社
IPC分类号： C09G1/02 , H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
摘要： 【課題】シリカ膜、Siウェハや難加工材であっても高速で研磨することができ、同時に高面精度を達成できることができるセリア系複合粒子分散液の提供。 【解決手段】次の特徴を備える平均粒子径5〜500nmのセリア系複合微粒子を含む、セリア系複合微粒子分散液。前記セリア系複合微粒子はセリア系微粒子である母粒子と、前記母粒子の表面上のセリウム含有シリカ層と、前記セリウム含有シリカ層の内部に分散している子粒子とを有し、前記母粒子および前記子粒子は結晶性のセリアを主成分とすること。X線回折に供すると、セリアの結晶相のみが検出されること。X線回折に供して測定される、前記結晶性セリアの平均結晶子径が3〜300nmであること。前記子粒子の平均粒子径が、10〜25nmであること。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021123511A
公开(公告)日：2021-08-30
申请号：JP2020016835
申请日：2020-02-04
申请人： 日揮触媒化成株式会社
IPC分类号： C01B39/24
摘要： 【課題】硝酸アルミニウムを基準物質とした 27 Al−NMR測定において、ケミカルシフトが0ppm付近にピークが現れる従来の骨格外Alではなく、ケミカルシフトが10ppm付近に現れる新たな骨格外Alを含むフォージャサイト型ゼオライトを提供すること。 【解決手段】Si及びAlを含み、SiとAlとのモル比(SiO 2 /Al 2 O 3 )が9以上であり、 27 Al−NMR測定において、硝酸アルミニウムを基準物質としたときのケミカルシフトが7ppm以上15ppm以下の範囲に40ppm以上80ppm以下の範囲のピーク積分値A 2 に対する、5ppm以上20ppm以下の範囲のピーク積分値A 1 の比(A 1 /A 2 )が0.23以上である、フォージャサイト型ゼオライト。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021121657A
公开(公告)日：2021-08-26
申请号：JP2020015004
申请日：2020-01-31
申请人： 日揮触媒化成株式会社
IPC分类号： C09G1/02 , C01B33/141 , B24B37/00 , H01L21/304 , C09K3/14
摘要： 【課題】高速で研磨することができ、高面精度を達成することができ、砥粒の沈降性、沈降した砥粒の再分散性あるいは砥粒等の残留が改善された研磨用砥粒分散液の提供。 【解決手段】異形シリカ系粒子および非異形シリカ系粒子からなるシリカ系粒子群を含むシリカ系粒子分散液に、ポリカルボン酸塩からなる分散剤が分散してなる研磨用砥粒分散液であって、前記異形シリカ系粒子は内部に細孔を有するコアおよび被覆シリカ層を有し、さらに次の条件を満たす研磨用砥粒分散液。シリカ系粒子群の重量平均粒子径、比表面積換算粒子径および異形度が特定範囲にあること。シリカ系粒子群の体積基準粒子径分布を波形分離すると多峰分布となること。ポリカルボン酸塩は重量平均分子量が特定範囲であり、カルボニル炭素に直接結合する炭素原子の個数が特定範囲であること。シリカ系粒子群と前記ポリカルボン酸塩の質量比が特定範囲であること。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6925991B2
公开(公告)日：2021-08-25
申请号：JP2018004002
申请日：2018-01-15
申请人： 日揮触媒化成株式会社
IPC分类号： H01L21/304 , C09K3/14
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公开(公告)号：JP2021107482A
公开(公告)日：2021-07-29
申请号：JP2019238690
申请日：2019-12-27
申请人： 日揮触媒化成株式会社
摘要： 【課題】優れた感触特性を持つ粒子を、生分解性に優れたカルボキシメチルセルロースで実現する。 【解決手段】 本発明のカルボキシメチルセルロース粒子は、真球度が0.85以上、平均粒子径d 1 が0.01〜20μm、最大粒子径d m が30μm未満である。カルボキシメチルセルロースに含まれる「塩を形成したカルボン酸基」の量をAと、「塩を形成していない遊離カルボン酸基」の量をBとしたとき、「B/(A+B)」で表される遊離カルボン酸基率が0.8以上である。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JPWO2019189610A1
公开(公告)日：2021-05-13
申请号：JP2019013678
申请日：2019-03-28
申请人： 日揮触媒化成株式会社
IPC分类号： C09G1/02 , C01B33/141 , B24B37/00 , C09K3/14
摘要： 高い研磨速度を実現すると共に、研磨基板の表面平滑性(面質)を向上させ、ディフェクトを低減できる研磨組成物を提供すること。 すなわち、シリカ粒子と水溶性高分子とを含有する研磨組成物であって、配合されるシリカ粒子が、(a)比表面積に基づく一次粒子径が5〜300nm、(b)粒子径変動係数が10%以下、及び(c)Sears数Yが10.0〜12.0の要件を満たすことを特徴とする研磨組成物である。
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公开(公告)号：JPWO2019189880A1
公开(公告)日：2021-03-25
申请号：JP2019014332
申请日：2019-03-29
申请人： 日揮触媒化成株式会社
IPC分类号： C09D175/14 , C09D7/62 , C09D4/00
摘要： 離型性と基材への密着性とに優れた膜が得られる塗布液を提供する。 反応性基を有するフッ素系オリゴマーと、硬化性オリゴマーと、有機溶媒とを含んだ塗布液である。ここで、有機溶媒の溶解パラメータ(SP値)が11[(cal/cm 3 ) 1/2 ]以下であり、フッ素系オリゴマーの表面張力(ST A [mN/m])と硬化性オリゴマーの表面張力(ST B [mN/m])が、以下の式を満たす ST A ≦22 28≦ST B ≦32 ST B −ST A ≧7.5
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