Patent search ap:("アプライドマテリアルズインコーポレイテッド" OR "APPLIED MATERIALS Page INCORPORATED") AND inv:"ブッシェ

1.

发明专利
埋め込み式ファイバーオプティクス及びエポキシ光ディフューザーを使用した基板の温度制御のための装置、システム、並びに方法有权

公开(公告)号：JP6607873B2

公开(公告)日：2019-11-20

申请号：JP2016575404

申请日：2015-06-12

Applicant: アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

Inventor： ブッシェ, マシュー , ボイドジュニア, ウェンデル , イーガン, トッドジェイ. , カーク, グレゴリーエル. , パーケ, ヴィジェイディー. , ライス, マイケルアール. , ヴォルフォフスキ, レオン

IPC: H01L21/3065 , H01L21/683

2.

发明专利
光ファイバ加熱を含む基板温度制御装置、基板温度制御システム、電子デバイス処理システム及び方法有权

公开(公告)号：JP6615126B2

公开(公告)日：2019-12-04

申请号：JP2016572250

申请日：2015-05-21

Applicant: アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

Inventor： ブッシェ, マシュー , ボイド, ウェンデル, ジュニア , パルケ, ビジャディー. , ライス, マイケルアール. , ヴォルフォフスキ, レオン

IPC: H01L21/683 , H01L21/02

3.

发明专利
溝に経路指定された光ファイバーによる加熱を含む温度制御装置、基板温度制御システム、電子デバイス処理システム、及び処理方法有权

公开(公告)号：JP6608923B2

公开(公告)日：2019-11-20

申请号：JP2017521060

申请日：2015-06-12

Applicant: アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

Inventor： ブッシェ, マシュー , ボイド, ウェンデルジュニア , ジルノ, ドミートリイエー. , パルケ, ビジャディー. , ライス, マイケルアール. , ヴォルフォフスキ, レオン

IPC: H05B3/74 , H05B3/00 , G02B6/26 , H01L21/683

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