公开(公告)号：JP2020147473A

公开(公告)日：2020-09-17

申请号：JP2019048202

申请日：2019-03-15

申请人： イビデン株式会社

发明人： 加納 規生 ,  長谷川 照富

IPC分类号： G05B19/418 ,  G06N20/00 ,  C01B32/205

摘要： 【課題】経験則のみに頼ることなく、炭素質材料の配置が適切であるか否かを判断する。 【解決手段】形状、材質または大きさの異なる複数の炭素質材料をアチェソン炉で黒鉛化し、黒鉛材料を得る黒鉛化工程の黒鉛材料の製造支援方法であって、前記黒鉛材料の製造支援方法は、学習済みの学習器に前記複数の炭素質材料の配置図及び通電パターンからなる黒鉛化工程の条件を入力するステップと、前記学習器が演算処理を実施し、前記黒鉛化工程の条件によって得られるクラックの発生場所を予測するステップと、からなる。 【選択図】図3

公开(公告)号：JP2021196801A

公开(公告)日：2021-12-27

申请号：JP2020102198

申请日：2020-06-12

申请人： イビデン株式会社

发明人： 加納 規生 ,  加納 孝一

IPC分类号： G06Q10/06 ,  G06Q50/04 ,  G05B19/418

摘要： 【課題】作業者によって運転される複数の設備の稼働状態を分析して、作業者ごとの作業効率を容易かつ正確に評価する生産分析装置を提供する。 【解決手段】生産分析装置1は、複数の設備の動作を検出する、設備A,B,Cにそれぞれ備えられた運転検出器14A,14B,14Cと、運転検出器の信号をもとに設備について、運転中であるか停止中であるかを判断して運転台数を得る演算装置と、設備A,B,Cの運転情報及び運転台数のいずれか一方もしくは両方を一定の時間間隔で時刻情報とともに記録する第1の記録装置と、運転台数を前記時刻情報とともに表示する表示装置13と、を備えている。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2017216372A

公开(公告)日：2017-12-07

申请号：JP2016109568

申请日：2016-05-31

申请人： イビデン株式会社

发明人： 加納 規生

IPC分类号： H01L21/205 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52 ,  H01L21/02 ,  H01L21/683

摘要： 【課題】実際の測定温度に基づき、ウェハとウェハ保持面との間の距離を調整して精度よくウェハの均熱化を図る。 【解決手段】複数のウェハ保持面を有する化合物半導体の保持体の製造方法であって、ウェハ保持面の各々に少なくとも3つのウェハ支持部を有する保持体を形成する保持体形成工程と、ウェハ保持面にダミーウェハを載置するとともに、保持体を所定温度に加熱し、ダミーウェハの表面の温度分布を計測する計測工程と、ダミーウェハの表面の温度が低い領域のウェハ保持面とダミーウェハ下面の距離が近くなるようウェハ支持部を調整する調整工程と、を備える。 【選択図】図1