Patent search ap:("エア・ウォーター株式会社") AND inv:"克人枝澤" Page 1

1.

发明专利
Of perfluorocarbon gas purification method and apparatus 有权

公开(公告)号：JP5117797B2

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：JP2007229746

申请日：2007-09-05

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 克人枝澤 , 貴彦安田 , 善信小谷

IPC: C07C17/389 , B01D53/04 , B01D53/68 , C07C19/08

CPC classification number: Y02C20/30

2.

发明专利
Purification process and apparatus of the perfluoro compound gas 有权

公开(公告)号：JP5074132B2

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：JP2007229745

申请日：2007-09-05

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 貴彦安田 , 善信小谷 , 克人枝澤

IPC: C07C17/389 , B01D53/02 , B01J20/20 , B01J20/28 , C01B31/08 , C07C19/08

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