公开(公告)号：JP6605655B2

公开(公告)日：2019-11-13

申请号：JP2018090436

申请日：2018-05-09

申请人： セメス カンパニー,リミテッド

发明人： キム,テギュン ,  ユ,ジェヒョク ,  チョ,ミンヒー ,  オ,セフン ,  オ,ヘリム ,  チョン,ジス

IPC分类号： H01L21/304

公开(公告)号：JP2018195815A

公开(公告)日：2018-12-06

申请号：JP2018090436

申请日：2018-05-09

申请人： セメス カンパニー,リミテッド

发明人： キム,テギュン ,  ユ,ジェヒョク ,  チョ,ミンヒー ,  オ,セフン ,  オ,ヘリム ,  チョン,ジス

IPC分类号： H01L21/304

CPC分类号： G02F1/133305 ,  B08B1/001 ,  B08B3/08 ,  C11D1/00 ,  C11D11/0094 ,  C11D17/041 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67248

摘要： 【課題】界面活性物質を含有する界面活性剤及び純水を混合することにより製造される洗浄溶液中の粒子のサイズが増大し、洗浄溶液を製造するための時間が短縮され得る、洗浄溶液を製造するための装置及び方法を提供する。 【解決手段】洗浄溶液製造装置400のハウジング410にて、第1の供給部材420が供給する界面活性剤及び第2の供給部材430が供給する純水を第1の温度で混合し、界面活性剤及び純水を第1の温度で混合した後で、界面活性剤及び純水を第1の温度よりも低い第2の温度に冷却しながら界面活性剤及び純水を混合する。 【選択図】図3