公开(公告)号：JP6067926B2

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：JP2016510957

申请日：2014-03-27

Applicant: ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー ,  Northrop Grumman LITEF GmbH

Inventor： ガイガー,ヴォルフラム ,  バルトーロメイチック,ユリアン ,  ラインフェルダー,ペーター

IPC: G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  G01P15/13 ,  B81B3/00 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0882

公开(公告)号：JP6263274B2

公开(公告)日：2018-01-17

申请号：JP2016553813

申请日：2015-02-11

Applicant: ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー ,  Northrop Grumman LITEF GmbH

Inventor： ガイガー,ヴォルフラム ,  ブレング,ウーヴェ ,  ハーフェン,マルティン ,  シュパーリンガー,ギュンター

IPC: B81C3/00

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81C1/00333

公开(公告)号：JP6263283B2

公开(公告)日：2018-01-17

申请号：JP2016570170

申请日：2015-02-11

Applicant: ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー ,  Northrop Grumman LITEF GmbH

Inventor： ガイガー,ヴォルフラム

IPC: B81B3/00 ,  B81C3/00

CPC classification number: B81C1/00333 ,  B81B7/0064 ,  B81C1/00301