Patent search ap:("バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド") AND inv:"バフ、ジェームスエス." Page 1

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发明专利
イオン装置で利用する磁石およびイオン装置审中-公开

公开(公告)号：JP6429407B2

公开(公告)日：2018-11-28

申请号：JP2016519682

申请日：2014-06-13

Applicant: バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

Inventor： バラクロウ、スコット , バフ、ジェームスエス.

IPC: H01L43/12 , H01J37/141

CPC classification number: H01J37/3007 , H01F7/20 , H01F27/10 , H01J37/1472 , H01J37/1475 , H01J37/3171 , H01J2237/002 , H01J2237/152 , H01J2237/1526 , H01J2237/303 , H01J2237/31701 , H05K7/20

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