公开(公告)号：JP2018187739A

公开(公告)日：2018-11-29

申请号：JP2017094230

申请日：2017-05-10

申请人： パナソニックIPマネジメント株式会社

发明人： 金沢 友博 ,  和田 雅人 ,  今井 崇之 ,  柴田 哲司 ,  杉田 和繁 ,  神山 直樹 ,  合田 博史 ,  水口 良孝

IPC分类号： B24D3/06 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304 ,  B24D11/00

CPC分类号： B23D61/185 ,  B21C1/003 ,  B21C3/025 ,  B21C9/00 ,  B23D65/00 ,  B28D5/045 ,  C22C27/04

摘要： 【課題】切断対象物のロスを少なくすることができ、細径化しても強度が高いソーワイヤー、切断装置を提供する。 【解決手段】切断装置のソーワイヤー10は、タングステンまたはタングステンとレニウムとの合金またはカリウムドープタングステンからなる金属線100を備え、金属線100の表面粗さRaは、0.15μm以下であり、金属線100の線径は、60μm以下である。金属線の表面にはニッケルめっき層110により付着した複数の砥粒130を備える。 【選択図】図3

公开(公告)号：JP2018187741A

公开(公告)日：2018-11-29

申请号：JP2017094243

申请日：2017-05-10

申请人： パナソニックIPマネジメント株式会社

发明人： 金沢 友博 ,  和田 雅人 ,  今井 崇之 ,  柴田 哲司 ,  杉田 和繁 ,  神山 直樹 ,  合田 博史 ,  水口 良孝

IPC分类号： H01L21/304 ,  B28D5/04 ,  B24B27/06

CPC分类号： B23D61/185 ,  B21C1/003 ,  B21C3/025 ,  B21C9/00 ,  B23D65/00 ,  B28D5/045 ,  C22C27/04

摘要： 【課題】切断対象物のロスを少なくすることができるソーワイヤーを提供する。 【解決手段】ソーワイヤー10は、タングステン又はタングステン合金からなる金属線を備え、金属線の表面粗さRaは、0.15μm以下であり、金属線の弾性率は、350GPa以上450GPa以下であり、金属線の引張強度は、3500MPa以上であり、金属線の線径は、60μm以下である。 【選択図】図3