公开(公告)号：JP2013534262A

公开(公告)日：2013-09-02

申请号：JP2013522230

申请日：2011-08-02

Applicant: ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se

Inventor： ゼールマン−エゲベアト ハンス−ペーター ,  ゼンフ アンドレアス ,  レシュ マークス ,  ベンテレ ヨアヒム ,  シュミット カティ ,  ステファノフスキ ウード

IPC: C10M169/04 ,  B24B37/00 ,  C10M105/18 ,  C10M107/34 ,  C10N30/00 ,  C10N40/22 ,  H01L21/304

CPC classification number: C10M107/34 ,  C10M2201/041 ,  C10M2201/05 ,  C10M2201/061 ,  C10M2201/062 ,  C10M2209/104 ,  C10M2209/1045 ,  C10M2209/107 ,  C10N2220/022 ,  C10N2220/14 ,  C10N2230/02 ,  C10N2240/401 ,  C10M2209/1055 ,  C10M2209/1085 ,  C10M2209/1065

Abstract: 本発明は、ウェハ製造のための研磨材用の改善された新規加工液、特に切削液、それらの使用及びウェハを切削する方法に関する。

公开(公告)号：JP5543030B2

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：JP2013522230

申请日：2011-08-02

Applicant: ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se

Inventor： ゼールマン−エゲベアト ハンス−ペーター ,  ゼンフ アンドレアス ,  レシュ マークス ,  ベンテレ ヨアヒム ,  シュミット カティ ,  ステファノフスキ ウード

IPC: C10M105/18 ,  B24B37/00 ,  C07C43/11 ,  C10M107/34 ,  C10N30/00 ,  C10N40/22 ,  H01L21/304

CPC classification number: C10M107/34 ,  C10M2201/041 ,  C10M2201/05 ,  C10M2201/061 ,  C10M2201/062 ,  C10M2209/104 ,  C10M2209/1045 ,  C10M2209/107 ,  C10N2220/022 ,  C10N2220/14 ,  C10N2230/02 ,  C10N2240/401 ,  C10M2209/1055 ,  C10M2209/1085 ,  C10M2209/1065