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    真空ポンプ
    2.
    发明专利
    真空ポンプ 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020012467A

    公开(公告)日：2020-01-23

    申请号：JP2019131612

    申请日：2019-07-17

    Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

    Inventor： ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー ,  トビアス・シュトル ,  マルティン・ローゼ

    IPC: F04D19/04

    Abstract: 【課題】本発明の課題は、真空ポンプにおいて、その機能性と、環境の無害性を、特に強い電場、及び/又は磁場の影響の基でも保証することである。 【解決手段】この課題は、真空ポンプ(111)、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのハウジング部分と少なくとも一つのシールド手段を有し、その際、シールド手段が、ポンプ(111)の外部に対してポンプ(111)の内部の電磁的シールドの為にハウジング部分に形成されていることを特徴とする真空ポンプ(111)によって解決される。 【選択図】図1

    真空装置
    3.
    发明专利
    真空装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019194469A

    公开(公告)日：2019-11-07

    申请号：JP2019038297

    申请日：2019-03-04

    Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

    Inventor： トビアス・シュトル ,  ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー

    IPC: F04D19/04 ,  F16L23/036 ,  F04B37/16

    Abstract: 【課題】少ない取扱の手間のみによって、装置が別の装置と接続することを目的としてフランジが固定されることが可能である真空装置を提供する。 【解決手段】真空装置111、特に真空ポンプ、真空測定装置、リーク探査装置、及び/又は真空チャンバー装置であって、接続部分225を有し、これに別の装置との接続を行うためのインレット、又はアウトレット227が形成されており、および接続部分とフランジ231の接続を行うための接続装置229を有し、その際、接続装置は、少なくとも一つの接続要素235と、接続要素の為に接続部分に配置された少なくとも二つの固定要素237,239を有し、及びその際、接続要素は、固定要素の一方に揺動可能に支承されており、および、フランジを接続部分において固定する固定位置への揺動によって、他方の固定要素と固定係合状態とされることが可能である。 【選択図】図6

    真空ポンプのローター装置
    7.
    发明专利
    真空ポンプのローター装置 有权
    用于真空泵的转子装置

    公开(公告)号：JP2016205397A

    公开(公告)日：2016-12-08

    申请号：JP2016086886

    申请日：2016-04-25

    Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

    Inventor： ヴォルフガング・ロシュ ,  ユルゲン・ヴァーグナー ,  トビアス・シュトル ,  ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー

    IPC: F04D19/04

    CPC classification number: F04D19/04 ,  F04D29/266 ,  F04D29/644 ,  F16D1/0858 ,  F04C25/02

    Abstract: 【課題】真空ポンプの為のローター装置であって、軸とハブの間の接続を有しており、この接続によって、ハブと軸の間の確実な力伝達が達成されることが可能であり、かつ例えば修理目的の為にハブと軸が損傷を受けることなく互いに分離されることが可能であるローター装置を提供することである。 【解決手段】ハブ(138)を有するローターと軸(134)を有する真空ポンプの為のローター装置であって、その際、軸(134)にはめ込まれたハブ(138)が、軸の第一の部分(140)と、ハブの第一の部分(146)の間に第一のしまり嵌め部が、そして軸の第二の部分(142)とハブの第二の部分(148)の間に第二のしまり嵌め部が形成されるように、軸(134)の第一の部分と、ハブの第一の部分が互いに第一のプレス嵌め部を、そして軸の第二の部分とハブの第二の部分が互いに第二のプレス嵌め部を有することを特徴とするローター装置。 【選択図】図1

    Abstract translation: 用于真空泵的转子装置，包括轴和轮毂之间的连接，该连接中，能够可靠地迫使轮毂之间传输和轴实现 并且例如，所述轮毂以及用于修理目的所述轴是提供一种转子装置能够从彼此分离而不会损坏。 本发明涉及的转子系统，其具有具有轮毂（138），由此装配到所述轴（134）（138）的轮毂是一第一轴线旋转的转子和轴（134）的真空泵 份和（140），所述第一过盈配合部，并且所述轴的轮毂（146）（142）和所述轮毂的第二部分（148）的所述第一部分之间的第二部分之间 作为形成第二干涉配合部，所述轴（134）与第一压配合部彼此的第一部分是在轮毂的第一部分，和所述轴的第二部分和轮毂 其特征在于，所述第二部分转子装置具有第二压配合部彼此。 点域1

    真空ポンプ
    8.
    发明专利
    真空ポンプ 有权
    真空泵

    公开(公告)号：JP2016169732A

    公开(公告)日：2016-09-23

    申请号：JP2016039623

    申请日：2016-03-02

    Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

    Inventor： ミルコ・メコタ ,  トビアス・シュトル ,  ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー

    IPC: F04B37/16 ,  F04B39/12 ,  F04D19/04

    CPC classification number: F04D19/04 ,  F04D17/168 ,  F04D29/403 ,  F04D29/601

    Abstract: 【課題】本発明の課題は、簡単な方法で柔軟に使用可能である真空ポンプを提供することである。 【解決手段】課題は、少なくとも一つの溝状のくぼみを有する要素と接続されている、及び/又は溝状の少なくとも一つのくぼみ(14,14’)を有するハウジング(12)を有する真空ポンプであって、その際、真空ポンプにコンポーネントを接続するため、又は他のユニットに真空ポンプを固定するために、少なくとも一つの基本要素(22a,22b,22c,22d)が、溝状のくぼみと連結されていることを特徴とする真空ポンプにより解決される。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种灵活可用于简单方法的真空泵。解决方案：真空泵具有连接到具有至少一个凹槽形凹槽的元件的壳体（12），和/或具有至少一个凹槽形凹槽 （14,14'）。 为了将部件连接到真空泵或将真空泵固定到另一个单元上，至少一个基本元件（22a，22b，22c，22d）连接到凹槽形凹槽。图1

    真空ポンプ
    9.
    发明专利
    真空ポンプ 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020139504A

    公开(公告)日：2020-09-03

    申请号：JP2020028168

    申请日：2020-02-21

    Applicant: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

    Inventor： ヨッヘン・ベットヒャー ,  ヨハネス・シュナール ,  トビアス・シュトル ,  ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー

    IPC: F04D19/04

    Abstract: 【課題】差し迫った損傷を早期に、理想的には真空ポンプが実際に故障する前に検知し得る構成の真空ポンプを提供する。 【解決手段】本発明は、少なくとも1つの軸受装置によって回転可能に支承された少なくとも1つのロータを有する少なくとも1つのポンプ段と、軸受装置に隣接して配置されかつ軸受装置の作動パラメータを決定可能な第1のセンサ装置と、軸受装置に隣接して配置されかつ真空ポンプの作動パラメータ、特に真空ポンプのハウジングの作動パラメータを決定可能な第2のセンサ装置を備える真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、軸受装置の作動パラメータと真空ポンプの作動パラメータを互いに比較し、比較に基づいて軸受装置の作動状態を確定するために形成及び設備された制御装置が設けられていること、を特徴とする真空ポンプに関する。本発明は、更に、真空ポンプを作動させるための方法に関する。 【選択図】図6

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