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公开(公告)号:JP6027029B2
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:JP2013555913
申请日:2012-02-27
Applicant: ムラタ エレクトロニクス オサケユキチュア
Inventor: ブロムクヴィスト,アンシ , ルオヒオ,ジャーコ
IPC: H01L29/84 , B81B3/00 , B81B7/04 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5719
公开(公告)号:JP6027029B2
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:JP2013555913
申请日:2012-02-27
Applicant: ムラタ エレクトロニクス オサケユキチュア
Inventor: ブロムクヴィスト,アンシ , ルオヒオ,ジャーコ
IPC: H01L29/84 , B81B3/00 , B81B7/04 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5719