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公开(公告)号:JP2018136132A
公开(公告)日:2018-08-30
申请号:JP2017028778
申请日:2017-02-20
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/065 , G01C19/5628 , G01C19/574 , G01P15/0922 , G01P15/097
Abstract: 【課題】スプリアス振動の周波数が可動体の検出振動の周波数に近づくことを抑制することができるジャイロセンサーを提供する。 【解決手段】基板と、第1駆動部と、角速度を検出する第1検出部および第2検出部と、を含み、前記第1検出部は、前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第1可動電極を備えた第1可動体と、前記基板に固定され、前記第1可動電極と対向する第1固定電極と、を有し、前記第2検出部は、前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第2可動電極を備えた第2可動体と、前記基板に固定され、前記第2可動電極と対向する第2固定電極と、を有し、前記第1可動体と前記第2可動体とは、第1連結部によって連結されている、ジャイロセンサー。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP6285128B2
公开(公告)日:2018-02-28
申请号:JP2013184484
申请日:2013-09-05
Applicant: 日立オートモティブシステムズ株式会社
IPC: H01L29/84 , B81B3/00 , G01C19/5712
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/574
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公开(公告)号:JP6256623B2
公开(公告)日:2018-01-10
申请号:JP2016548281
申请日:2015-01-28
Applicant: 株式会社村田製作所
Inventor: ルオヒオ、ヤーッコ , ブロムクビスト、アンッシ
IPC: B81B3/00 , H01L41/113 , H01L41/193 , H01L29/84 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B3/0043 , B81B2201/0242 , B81B2207/012 , G01C19/574
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公开(公告)号:JP6027029B2
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:JP2013555913
申请日:2012-02-27
Applicant: ムラタ エレクトロニクス オサケユキチュア
Inventor: ブロムクヴィスト,アンシ , ルオヒオ,ジャーコ
IPC: H01L29/84 , B81B3/00 , B81B7/04 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5719
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公开(公告)号:JP2015206710A
公开(公告)日:2015-11-19
申请号:JP2014087981
申请日:2014-04-22
Applicant: セイコーエプソン株式会社
Inventor: 瀧澤 照夫
IPC: B81B3/00 , H01L29/84 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 【課題】角速度の検出特性を向上させることが可能な角速度センサー、この角速度センサーを備えている電子機器及び移動体の提供。 【解決手段】角速度センサー1は、基板10と、基板10上に配置されている複数の各質量部21〜24と、複数の各質量部21〜24のうち、隣り合う各質量部(第1質量部21と第3質量部23、第3質量部23と第2質量部22、第2質量部22と第4質量部24、第4質量部24と第1質量部21)を互いに結合する各結合部31〜34と、基板10上に配置され、各結合部31〜34に接続されている各駆動部41〜44と、を備え、各駆動部41〜44は、各結合部31〜34を介して、隣り合う各質量部(第1質量部21と第3質量部23、第3質量部23と第2質量部22、第2質量部22と第4質量部24、第4質量部24と第1質量部21)をそれぞれ駆動することを特徴とする。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供能够改善角速度的检测特性的角速度传感器,并且还提供一种设置有角速度传感器的电子设备和可移动体。解决方案:角速度传感器1包括:基板10 ; 设置在基板10上的多个单独的质量部21至24; 将各个质量部分(第一质量部分21和第三质量部分23,第三质量部分23和第二质量部分22,第二质量部分22和第四质量部分24以及第四质量部分22)联接的单独联接部分31至34 质量部分24和第一质量部分21)彼此相邻;多个单个质量部分21至24彼此相邻; 并且单独的驱动部41至44设置在基板10上并且连接到各个联接部31至34.驱动部41至44分别驱动各个质量部(第一质量部21和第三质量部23, 第三质量部分23和第二质量部分22,第二质量部分22和第四质量部分24以及第四质量部分24和第一质量部分21)经由各个联接部分31至34彼此相邻。
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公开(公告)号:JP2015088643A
公开(公告)日:2015-05-07
申请号:JP2013226519
申请日:2013-10-31
Applicant: セイコーエプソン株式会社
IPC: H01L23/02
CPC classification number: G01C19/5769 , G01C19/574 , H01L23/10 , H05K5/066 , B23K2201/12 , H01L2224/16225 , H01L2224/73204 , H01L2924/16195
Abstract: 【課題】キャビティー内の脱気および封止を容易に行うことが可能な電子デバイスの製造方法、および電子デバイスを提供する。 【解決手段】ベース91と蓋体としてのリッド92とによって設けられた内部空間14に電子部品としてのジャイロ素子2を収納する電子デバイスの製造方法であって、ベース91と溶接される側の面92bに溝94が設けられ、溝94の開口面積が、リッド92の外周側の開口より内部空間14側の開口の方が小さいリッド92を用意する工程と、ベース91とリッド92との溶接予定部位のうちの、溝94の少なくとも一部を含む未溶接部位を除いた部位のベース91とリッド92とを溶接する第1溶接工程と、未溶接部位のベース91とリッド92とを溶接し、溝94を閉塞する第2溶接工程と、を含む。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题:提供能够容易地进行腔体内部的脱气和密封的电子设备的制造方法,并且还提供电子设备。解决方案:电子设备容纳用作 由基座91形成的内部空间14中的电子部件和用作盖体的盖92。 电子设备的制造方法包括:准备在焊接到基座91的一侧的表面92b上设置有槽94的盖92的步骤,并且槽94的开口面积布置成使得开口 盖92的内部空间14侧小于其外周侧的开口部; 第一焊接步骤,将基底91的不包括沟槽94的至少一部分的未焊接部分的部分焊接到基座91和盖92的待焊接部分到盖92的第一焊接步骤; 以及将基座91的尚未焊接部分焊接到盖92并闭合凹槽94的第二焊接步骤。
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公开(公告)号:JP2015031692A
公开(公告)日:2015-02-16
申请号:JP2014153782
申请日:2014-07-29
Applicant: ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド , Honeywell Internatl Inc
Inventor: HANSON TIMOTHY J , WEBER MARK W , MAX C GLENN , DREW CARNICK
IPC: G01C19/5769 , G01C19/574 , G01P15/08 , G01P15/125
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5783 , G01P2015/0871 , Y10T29/49002
Abstract: 【課題】強いショックおよび加速が生じたときのロバスト動作を可能にする、MEMS装置増強を提供する。【解決手段】第1電位および第1水平方向にモータ運動をするように構成される、少なくとも1つのプルーフマス112、114を有する。少なくとも1つの検出プレート120、124は、検出ギャップだけプルーフマスから離間される、検出プレートは、プルーフマスの方を向く内側表面を備え、第1電位と異なる第2電位を備える。停止構造130の第1セットは検出プレートの内側表面上にあり、検出プレートから電気的に絶縁される。停止構造は、検出プレートの内側表面が垂直方向においてプルーフマスと接触するのを防止するように構成される。停止構造は、プルーフマスの電位と実質的に同一の電位を備え、また、ショックまたは加速時に、プルーフマスとの接触に際してエネルギー交換を最小化するように寸法決めされる。【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供当发生严重的冲击和加速时能够进行鲁棒操作的MEMS装置增强。解决方案:MEMS装置包括至少一个证明质量块112,114,被配置为具有第一水平的第一电压和电机运动 方向。 至少一个感测板120,124通过感测间隙与检测质量分离,感测板具有面向校准质量块的内表面和不同于第一电压的第二电压。 第一组停止结构130存在于感测板的内表面上并且与感测板电隔离。 止动结构被构造成防止感测板的内表面与检验块在垂直方向上的接触。 停止结构具有与证明质量块基本相同的电压,并且其尺寸被设计成在冲击或加速期间与检验质量块接触时最小化能量交换。
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公开(公告)号:JP5639086B2
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:JP2011551448
申请日:2010-02-03
Applicant: マキシム インテグレイテッド ゲーエムベーハーMaxim Integrated GmbH , マキシム インテグレイテッド ゲーエムベーハーMaxim Integrated GmbH
Inventor: フォルカー ケンプ, , フォルカー ケンプ,
IPC: G01C19/5733 , B81B3/00 , G01C19/56
CPC classification number: G01C19/574
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公开(公告)号:JP5560451B2
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:JP2011515393
申请日:2009-06-25
Applicant: マキシム インテグレイテッド ゲーエムベーハーMaxim Integrated GmbH
Inventor: ロッシ,アレッサンドロ
IPC: G01C19/5733 , G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/574
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公开(公告)号:JP5554921B2
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:JP2008506534
申请日:2006-04-06
Applicant: アナログ デバイシス, インコーポレイテッド
Inventor: ジョン エー. ジーン, , チンボ クァン,
IPC: G01C19/574 , G01P7/00
CPC classification number: G01C19/574
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