公开(公告)号：JP2018039105A

公开(公告)日：2018-03-15

申请号：JP2017148996

申请日：2017-08-01

申请人： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド

发明人： シュイユアン・ルオ ,  ジョージ・シー・ジェイコブ ,  ヘンリー・サンフォード−クレイン ,  吉田 光一 ,  川端 克昌 ,  北脇 秀亮 ,  高橋 祥吾 ,  武居 陽祐

IPC分类号： H01L21/304 ,  B24B37/24

CPC分类号： C08J9/0061 ,  B24B37/24 ,  C08J2205/05 ,  C08J2207/00 ,  C08J2375/04 ,  C08J2475/04

摘要： 【課題】パッド誘発性欠陥を低減させ研磨速度を増加させる研磨パッドの提供。 【解決手段】多孔性ポリウレタン研磨パッドは、ベース表面から上向きに伸長し、上方表面に開口している大孔を有する多孔性マトリックスであって、大孔は小孔と相互接続され、二つの熱可塑性ポリマーの配合物である。第一の熱可塑性ポリウレタンは、分子パーセントで、アジピン酸45〜60、MDI−エチレングリコール10〜30およびMDI15〜35ならびに40,000〜60,000のMn、125,000〜175,000のMwおよび2.5〜4のMw対Mn比を有する。第二の熱可塑性ポリウレタンは、分子パーセントで、アジピン酸40〜50、アジピン酸ブタンジオール20〜40、MDI−エチレングリコール5〜20およびMDI5〜25ならびに60,000〜80,000のMn、125,000〜175,000のMwおよび1.5〜3のMw対Mn比を有する。 【選択図】なし