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发明专利
導光板の製造方法およびプラズマ処理装置有权
Title translation: 制造方法和光导板的一个等离子体处理装置

公开(公告)号：JP5961500B2

公开(公告)日：2016-08-02

申请号：JP2012205608

申请日：2012-09-19

Applicant: 住友化学株式会社 , エア・ウォーター株式会社

Inventor： 野田基央 , 西野祥太郎 , 森本和也 , 嶋谷秀諭 , 奥村直樹

IPC: G02B6/00 , F21Y115/10 , F21S2/00

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