公开(公告)号：JP5106627B2

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：JP2010505998

申请日：2009-04-03

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  国立大学法人北海道大学

Inventor： 高志 土橋 ,  雅成 高口 ,  理 上村 ,  洋也 太田 ,  一寿 郷原

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/24578

公开(公告)号：JPWO2009123311A1

公开(公告)日：2011-07-28

申请号：JP2010505998

申请日：2009-04-03

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  国立大学法人北海道大学

Inventor： 高志 土橋 ,  高志 土橋 ,  雅成 高口 ,  雅成 高口 ,  上村　理 ,  理 上村 ,  太田　洋也 ,  洋也 太田 ,  一寿 郷原 ,  一寿 郷原

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/24578

Abstract: 本発明の荷電粒子線顕微装置は、既知の構造を持つ試料(22)に荷電粒子線を平行に照射して得られる回折像において、試料の構造を反映した回折像のスポット間距離(r)を測定して、回折角度(θ)に依存した試料と検出器間の距離(L)の変化を補正する。これにより、回折像において光軸からの離軸距離で変化する歪みを補正でき、回折像のスポット位置の正確な解析を行うことにより精度の高い構造解析が可能となった。

公开(公告)号：JP4726048B2

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：JP2005155069

申请日：2005-05-27

Applicant: 国立大学法人北海道大学 ,  株式会社日立製作所

Inventor： 博司 柿林 ,  一寿 郷原

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/22

公开(公告)号：JPWO2005114693A1

公开(公告)日：2008-03-27

申请号：JP2006513733

申请日：2005-05-20

Applicant: 国立大学法人 北海道大学 ,  国立大学法人 北海道大学

Inventor： 一寿 郷原 ,  一寿 郷原

IPC: H01J37/295 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/226

Abstract: 位相回復法の原理にのっとって高分解能化を実現することができる電子顕微方法。本方法を用いた電子顕微鏡(10)は、位相回復法に特化した専用装置であり、ハードウエア(入射系(100)、試料系(200)、検出系(300)、計算機系(400))と、ソフトウエア(拘束条件、最適化手法)が一体化されている。サポート用スリット(210)の強度分布および位相分布は、位相回復法における実空間拘束条件として付与される。検出系(300)は、電気的にオンオフ可能な対物レンズ(310)とコース検出器(320)を含むコース系と、ファイン検出器(330)を含むファイン系とを有する。コースイメージは、対物レンズを電気的にオンして取得され、ファインイメージは、対物レンズを電気的にオフして回折パターンを取得した後、得られたコースイメージと回折パターンを用いた位相回復法によって再構成される。

公开(公告)号：JPWO2011093043A1

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：JP2011551750

申请日：2011-01-21

Applicant: 国立大学法人北海道大学

Inventor： 一寿 郷原 ,  一寿 郷原 ,  宏太 川原 ,  宏太 川原

IPC: H01J37/26 ,  G01N23/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/295

CPC classification number: G02B21/365 ,  G01N23/20058 ,  G02B26/0808 ,  G02B27/4205 ,  G03H1/0866 ,  G03H5/00 ,  G03H2001/005 ,  G03H2001/0816 ,  G03H2226/13 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/226

Abstract: 入射ビームの角度拡がりの影響を低減できる回折顕微法。この方法では、ビームを試料に照射し、試料からの回折パターンの強度を計測し、計測した回折パターンの強度をもとにフーリエ反復位相回復法を用いて物体の像を再構成する回折顕微法において、入射ビームの角度拡がりによってコンボリューションされた回折パターンに対して、デコンボリューションを用いてフーリエ反復位相回復を行う。

公开(公告)号：JP4852758B2

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：JP2006513733

申请日：2005-05-20

Applicant: 国立大学法人北海道大学

Inventor： 一寿 郷原

IPC: H01J37/295 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/226