公开(公告)号：JP2021197489A

公开(公告)日：2021-12-27

申请号：JP2020104219

申请日：2020-06-17

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 阿部 純一

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/44 ,  H01L21/3065

Abstract: 【課題】供給配管内の腐食を抑制しつつ、より安全に処理チャンバを大気開放できる基板処理装置およびガス供給配管のパージ方法を提供する。 【解決手段】基板処理装置は、処理チャンバと、ガス供給配管と、処理ガス配管と、パージガス配管と、連動開放部とを有する。処理チャンバは、内部において腐食性の処理ガスにより基板に処理を施す処理チャンバである。ガス供給配管は、処理チャンバに接続され、処理チャンバの内部まで連通している配管である。処理ガス配管は、ガス供給配管に第1のバルブを介して接続され、処理ガスをガス供給配管に導入する。パージガス配管は、第1のバルブの処理チャンバ側において、ガス供給配管に第2のバルブを介して接続され、パージガスをガス供給配管に導入する。連動開放部は、第1のバルブが閉じている状態で、処理チャンバの内部への大気導入と連動して第2のバルブを開放する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019220676A

公开(公告)日：2019-12-26

申请号：JP2019030943

申请日：2019-02-22

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 阿部 純一 ,  中尾 博人

IPC: H01L21/3065 ,  H05K7/00

Abstract: 【課題】金属部材若しくは誘電体部材の上に配線を狭ピッチで配置して固定することができる技術を提供する。 【解決手段】本開示の一態様による配線固定構造は、金属面を有する金属部材と、板厚方向に貫通する貫通孔を有する導体板を、所定間隔をあけて互いに平行に複数配置した配線と、前記貫通孔に嵌合可能な凸部が形成された複数の第1の保持部と、前記複数の第1の保持部を前記所定間隔で接続する第1の接続部と、前記第1の接続部から前記第1の保持部と平行に延びて形成され、前記金属面に固定される脚部と、を有する第1の絶縁部材と、前記複数の第1の保持部の各々と協働して前記導体板を挟持して保持する複数の第2の保持部と、前記複数の第2の保持部を前記所定間隔で接続する第2の接続部と、を有する第2の絶縁部材と、を備え、前記配線は、前記第1の絶縁部材及び前記第2の絶縁部材によって、前記金属面から離間して保持される。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2021019098A

公开(公告)日：2021-02-15

申请号：JP2019134074

申请日：2019-07-19

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 阿部 純一

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46 ,  C23C16/44 ,  H01L21/3065

Abstract: 【課題】基板を処理する処理容器を構成する二つの導電性部材の接合界面に、処理領域のプロセス雰囲気が漏れることを抑制する、第一導電性部材と第二導電性部材の接合構造と接合方法、及び基板処理装置を提供すること。 【解決手段】外部領域と隔離された処理領域を内部に備え、前記処理領域において基板を処理する処理容器を構成する、第一導電性部材と第二導電性部材の接合構造であって、前記第一導電性部材と前記第二導電性部材は接合界面を備え、前記接合界面には、離間して配設されている無端状の第一シール溝と第二シール溝が臨み、前記第一シール溝に第一シール部材が配設され、前記第二シール溝に第二シール部材が配設されており、前記第一シール溝と前記第二シール溝の間における前記接合界面の表面凹凸により形成される隙間が、前記外部領域に連通している。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2019207862A

公开(公告)日：2019-12-05

申请号：JP2019020391

申请日：2019-02-07

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 阿部 純一 ,  中尾 博人

IPC: H05H1/46

Abstract: 【課題】誘導結合プラズマの生成に用いられる螺旋状のアンテナの巻き数を高密度化する技術を提供する。 【解決手段】本開示によるアンテナは、誘導結合プラズマの生成に用いられるアンテナ100であって、複数のアンテナ構成部材110を備える。複数のアンテナ構成部材110は、各々が板状に形成され、直列に連結されることによって多角形の螺旋形状を構成する。また、複数のアンテナ構成部材110のうち、互いに連結される2つのアンテナ構成部材は、板面方向に沿って突き出た凸部111を一方が有するとともに、板面方向に沿って凹んだ凹部112を他方が有し、凹部112と凸部111とが組み合わされ且つろう付けまたは溶接されることによって連結される。 【選択図】図3