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公开(公告)号：JP2021527946A
公开(公告)日：2021-10-14
申请号：JP2020567252
申请日：2019-06-03
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス,インコーポレーテッド
Inventor： ウー,トン
IPC: H01L21/31 , C23C16/52 , H01L21/3065
Abstract: 工業用製造装置における特性をリアルタイム感知するための装置及び方法について記載されている。感知システムは、半導体デバイス製造システムの処理環境内に取り付けられた第1の複数のセンサであって、各センサが異なる領域に割り当てられて、製造システムの割り当てられた領域の物理的又は化学的特性を監視する、第1の複数のセンサと、複数のセンサに同時に且つ無線で問い合わせを行うように構成された構成要素を有するリーダーシステムと、を含む。リーダーシステムは、(1)第1の周波数帯域に関連付けられた第1の要求パルス信号を第1の複数のセンサに送信すること、及び(2)システムの割り当てられた各領域における物理的又は化学的特性の変動のリアルタイム監視を提供する第1の複数のセンサから、一意に識別可能な応答信号を受信することを含む、単一の高周波問い合わせシーケンスを使用する。
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