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公开(公告)号:JP5999967B2
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:JP2012104587
申请日:2012-05-01
Applicant: 株式会社アルバック
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
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公开(公告)号:JP5794876B2
公开(公告)日:2015-10-14
申请号:JP2011212634
申请日:2011-09-28
Applicant: 株式会社アルバック
Inventor: 楠本 淑郎
IPC: C23C16/455
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