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公开(公告)号：JP2017210642A
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：JP2016103578
申请日：2016-05-24
Applicant: 株式会社アルバック
Abstract: 【課題】成膜対象の形成材料における選択の自由度を高めることを可能にしたイオンプレーティング装置を提供する。 【解決手段】イオンプレーティング装置10は、成膜対象Sを支持するための支持部11と、エネルギーを受けて蒸発する材料を保持するための保持部12であって、蒸発した材料を放出する開口12aを有した保持部12と、プラズマを生成するためのコイル13であって、支持部11と保持部12とが並ぶ方向である配列方向に延び、かつ、配列方向から見て、保持部12を囲む線状を有したコイル13とを備える。配列方向において、コイル13の少なくとも一部が、支持部11と開口12aとの間に位置し、コイル13の全体が、支持部11と開口12aとの間の中央よりも保持部12が位置する側に位置する。 【選択図】図1
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