オゾン生成装置およびオゾン生成方法

    公开(公告)号:JP2021001099A

    公开(公告)日:2021-01-07

    申请号:JP2019116825

    申请日:2019-06-25

    Abstract: 【課題】本発明により解決しようとする課題は、様々な使用環境でも紫外線照射効率やオゾン生成効率の低下を防ぐことのできるオゾン生成装置を提供することである。 【解決手段】本発明のオゾン生成装置は、エキシマランプ4を用いたオゾン生成装置1であって、エキシマランプ4を点灯して照度低下する前に、エキシマランプ4を消灯することにより、紫外線照射効率やオゾン生成効率の低下を防いだオゾン生成装置とすることができる。 【選択図】図1

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