洗浄機、及び、対象物の洗浄および乾燥方法

    公开(公告)号:JP2020081948A

    公开(公告)日:2020-06-04

    申请号:JP2018218810

    申请日:2018-11-22

    Abstract: 【課題】真空乾燥機を好適に適用できる洗浄機を提供する。 【解決手段】洗浄機(10)は、対象物(21)を載せる設置面(13A)および枠体(15)を持つ閉塞板(13)と、主要洗浄面(21A)が設置面と異なる方向を向くように設置面と間隙を開けて対象物(21)を支持する支持体(19)と、ノズル移動装置(33)と、回転軸(5)を中心に回転可能にノズル移動装置に配置され、閉塞板に沿って間隙に挿入できるノズル(25)と、開口(43A)および密着面(41)を有し、当接位置において密着面が枠体(15)と密着して対象物及び支持体を収納する減圧容器(43)と、減圧容器を当接位置と退避位置に移動させる容器移動装置(45)と、減圧ポンプ(49)と、を備える。 【選択図】図1

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