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公开(公告)号：JP2018059780A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：JP2016196627
申请日：2016-10-04
Applicant: 株式会社デンソー , 株式会社ピーアイ技術研究所
IPC: G01N27/22
Abstract: 【課題】さらなる耐久変動の低減が可能な感湿膜としてのポリイミドを生成することができる半導体湿度センサの製造方法を提供する。 【解決手段】感湿素子11を構成する感湿膜17としてのポリイミドを生成するに際し、ポリイミドの合成が可能な溶媒として、TetraG、安息香酸エチル、安息香酸メチル等のγ−ブチロラクトン、N−メチル−2ピロリドンを含有しない溶媒を用いる。これにより、従来のNMP溶媒を用いる場合に比べて、感湿素子11の耐久変動要因となる感湿膜17内の酸無水物の残存量が減少する。したがって、耐久変動の低減が可能な感湿膜17としてのポリイミドを生成することができる。 【選択図】図1
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