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发明专利
Substrate transport rack 有权

公开(公告)号：JP4045124B2

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：JP2002150282

申请日：2002-05-24

Applicant: 株式会社ファーネス

Inventor： 洋渡辺 , 博幸遠野 , 正文長谷部

IPC: B65D61/00 , B65G1/00 , B65D85/86

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