公开(公告)号：JP2020169926A

公开(公告)日：2020-10-15

申请号：JP2019072172

申请日：2019-04-04

Applicant: 株式会社島津製作所

Inventor： 小野 卓男

IPC: H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  G01N23/225

Abstract: 【課題】試料ステージ上の試料の設置位置が変更されたときにポジションリスト中の座標情報の修正に係る手間を軽減する。 【解決手段】試料ステージ4上に載置された試料5上の、複数の分析対象位置の座標情報を記憶しておく位置情報記憶部22と、試料ステージ4上に載置されている試料5において、位置情報記憶部22に記憶されている複数の分析対象位置の中の一つを探索し、その一つの分析対象位置の最新の座標情報を取得する最新情報取得部24と、一つの分析対象位置の最新の座標情報と該分析対象位置の位置情報記憶部22に記憶されている座標情報とから位置ずれ情報を算出する位置ずれ情報算出部25と、位置情報記憶部22に記憶されている複数の分析対象位置の座標情報の全てを位置ずれ情報を用いて修正して新たな座標情報を算出する座標情報算出部25と、位置情報記憶部22に記憶されている、複数の分析対象位置の座標情報の全てを、新たな座標情報に書き換える記憶情報更新部26と、を備える。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019007755A

公开(公告)日：2019-01-17

申请号：JP2017121227

申请日：2017-06-21

Applicant: 株式会社島津製作所

Inventor： 小野 卓男

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/2204

Abstract: 【課題】EPMAやSEMのような装置で観察又は分析する試料の観察又は分析の対象部分の探索とその位置調整を容易に行なうことができるようにする。 【解決手段】調整用治具は、略球体の試料の観察又は分析の対象部分の探索とその位置調整に用いられるものである。当該調整用治具は、上面から下面に通じる貫通孔をもち、少なくとも前記貫通孔の設けられている部分が、上面側の前記貫通孔の縁で保持した略球体の試料が当該調整用治具の下面に達する厚みを有する。 【選択図】 図1