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公开(公告)号：JP2017033733A
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：JP2015151551
申请日：2015-07-31
Applicant: 株式会社島津製作所
Abstract: 【課題】使用可能な固定部の材質の種類を多様化しながら、電子放出部の形状の工夫および脚部の断面積を小さくすることとは別個に、電子放出部の温度分布の偏りを小さくすることが可能な陰極の製造方法を提供する。 【解決手段】この陰極1の製造方法は、少なくとも1つの脚部に対する圧力を、他の脚部に対する圧力とは異なるように、固定部14a〜14dのそれぞれの外部から圧力を加えることにより固定部14a〜14dを変形させて、端子用脚部12a、12b、支持用脚部13a、13bのそれぞれを固定部14a〜14dに固定することによって、脚部と固定部との間の熱伝達率を少なくとも1つの脚部と他の脚部とで異なるように調整する。 【選択図】図2
Abstract translation: A，而从减少设计和该电子发射区的腿形的横截面面积的多样化类型的可用的材料固定部分，分别，以减少电子发射部分的温度分布的偏差 提供一种能够在阴极制造方法。 阴极1的制造方法，在至少一个腿的压力，不同于在另一条腿上的压力，通过从相应的外部固定部14a施加压力〜14d的固定部 通过变形的14a至14d，端子支脚12a，12b中，支撑腿13a中，通过固定各13B到固定部分14a至14d，固定部分和腿部分之间的热传递系数 不同由至少一个腿和另一条腿调整。 .The
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