公开(公告)号：JP2014222674A

公开(公告)日：2014-11-27

申请号：JP2014157876

申请日：2014-08-01

Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンス ,  Hitachi High-Tech Science Corp

Inventor： KADA MASAKATSU ,  UEMOTO ATSUSHI ,  FUJII TOSHIAKI ,  TASHIRO JUNICHI

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/317

Abstract: 【課題】試料内部の結晶方位情報を容易に取得可能にすることを図る。【解決手段】試料11に電子ビーム1aを照射するための電子ビーム鏡筒1と、試料11を支持する試料台3と、試料11から放出される後方散乱電子を検出するための散乱電子検出器6と、試料11に集束イオンビーム2bを照射するための集束イオンビーム鏡筒2とを有する電子顕微鏡を提供する。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：容易获得样品内部的晶体取向信息。解决方案：电子显微镜包括：用于用电子束1a照射样品11的电子束透镜镜筒1; 用于支撑样品11的样品台3; 用于检测从样品11排出的反向散射电子的散射电子检测器6; 以及聚焦离子束透镜镜筒2，用于用聚焦离子束2b照射样品11。

公开(公告)号：JP2013196863A

公开(公告)日：2013-09-30

申请号：JP2012060963

申请日：2012-03-16

Applicant: Hitachi High-Tech Science Corp ,  株式会社日立ハイテクサイエンス

Inventor： KADA MASAKATSU

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31713

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam device which realizes multi-functionalization and efficient processing by removing restrictions on a processing unit in a sample chamber.SOLUTION: A charged particle beam device includes: a sample chamber which can be evacuated; a sample stage 30 for holding a sample 20 in the sample chamber; an electron beam irradiation system which irradiates the sample 20 with an electron beam; a focused ion beam irradiation system which irradiates the sample 20 with a focused ion beam; a secondary signal detector which detects a secondary signal from the sample generated by the irradiation with at least one of the electron beam and focused ion beam; a sample stage driving unit 40 which has a rotation axis 40A orthogonal to one of an irradiation axis of the electron beam irradiation system and an irradiation axis of the focused ion beam irradiation system; and a sample transfer mechanism 80 which transfers the sample 20 onto the sample stage 30. The sample transfer mechanism 80 includes a transfer path 82 provided to the sample stage driving unit 40 in a direction parallel to the rotation axis 40A of the sample stage driving unit 40.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种通过去除对样品室中的处理单元的限制来实现多功能化和有效处理的带电粒子束装置。解决方案：带电粒子束装置包括：可以抽真空的样品室; 用于将样品20保持在样品室中的样品台30; 电子束照射系统，用于向样品20照射电子束; 聚焦离子束照射系统，其对样品20照射聚焦离子束; 次级信号检测器，其通过用电子束和聚焦离子束中的至少一个检测由照射产生的样品的次级信号; 样品台驱动单元40，其具有与电子束照射系统的照射轴线和聚焦离子束照射系统的照射轴线正交的旋转轴线40A; 以及样品传送机构80，其将样品20传送到样品台30上。样品传送机构80包括在与样品台驱动单元的旋转轴线40A平行的方向上设置到样品台驱动单元40的传送路径82 40。