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公开(公告)号：JP2017208155A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：JP2014172179
申请日：2014-08-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20
Abstract: 【課題】重い試料でも安全で高精度な位置決めをする試料ステージを提供する。 【解決手段】試料を搭載し移動させるステージ装置4を備えた荷電粒子線装置において、ステージ装置4に搭載された試料の重量を計測する重量計測手段29を有し、試料の重量が所定より重い場合に警告を表示する表示装置を備え、試料の重量が所定より重い場合にステージ4の動作を制限し、試料の重量とステージ位置の情報に基づいてステージ4の駆動を最適化する。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2016051536A
公开(公告)日：2016-04-11
申请号：JP2014174724
申请日：2014-08-29
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Abstract: 【課題】 本発明は、振動を検出する検出器の検出信号に基づいて、適正な加振を行うことが可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明では荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを試料に照射する荷電粒子光学鏡筒と、振動を検知する振動検出器(113)と、当該振動検出器の検出信号に基づいて、前記荷電粒子光学鏡筒を加振する加振装置(114)とを備えた荷電粒子線装置であって、前記検出信号と、当該検出信号と前記荷電粒子ビームの照射によって得られる信号に基づく像ゆれとの関係情報に基づいて、前記加振装置を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置を提案する。 【選択図】 図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够基于用于检测振动的检测器的检测信号来执行适当激励的带电粒子束装置。解决方案：一种带电粒子束装置，包括带电粒子束光学镜筒，用于将样品照射 从带电粒子束源发射的带电粒子束，用于检测振动的振动检测器（113）和用于激发带电粒子束光学镜筒的激励器（114），基于来自振动检测器的检测信号，还设置有 基于通过照射带电粒子束获得的信号，基于检测信号和图像抖动的相关信息来控制激励器的控制器。图1
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公开(公告)号：JPWO2017002740A1
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：JP2017526330
申请日：2016-06-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: G01N35/10
Abstract: 本発明に係る超音波洗浄器は、BLT100の超音波振動を拡大するための振動部222を洗浄槽211内の側面側に備え、BLT100を駆動することで洗浄槽211内に供給された洗浄液に対して超音波振動によるキャビテーションをノズルの周囲にムラなく発生させ、効果的なノズル洗浄を可能とする。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP6337147B2
公开(公告)日：2018-06-06
申请号：JP2016564788
申请日：2015-12-07
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: G01N35/1079 , B01L3/0255 , B01L3/0296 , B01L3/50825 , B01L2300/0672 , G01N1/10 , G01N2035/00287 , G01N2035/0403
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公开(公告)号：JP2015102427A
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：JP2013243451
申请日：2013-11-26
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Abstract: 【課題】 先端を鋭利にしたプローブで繰り返し閉栓容器の栓を貫通して分注する自動分析装置において、使用日数の経過とともに貫通する性能が劣化していくプローブの状態を監視し、適切な時期にプローブの交換ができる自動分析装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 蓋付きのサンプル容器からサンプルを吸引するプローブと、前記プローブを前記蓋に貫通させる駆動部と、前記プローブが前記蓋に貫通するときに得られる貫通性能情報を検出する貫通性能検出手段を有し、前記貫通性能情報に基づき、前記プローブの貫通性能の劣化を判定し、前記プローブの交換要否を判定するプローブ状態判定部を備える。 【選択図】 図5
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够通过监视探针的状态来适当地更换探针的自动分析装置，其在通过反复穿透插塞的自动分析装置进行分配时随着使用天数的流逝而劣化 通过具有尖锐尖端的探针的封闭容器。自动分析器包括探针状态确定单元，其具有：用于从具有盖的样品容器吸取样品的探针; 驱动部，其使所述探针贯穿所述盖; 以及穿透性检测装置，其检测当探针穿过盖时所获取的穿透性能信息。 探针状态确定单元基于穿透性能信息确定探针的穿透性能的劣化，并且确定探针的替换/不更换。
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公开(公告)号：JP2018021806A
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：JP2016152427
申请日：2016-08-03
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: C12M1/34 , C12Q1/68 , G01N27/416 , G01N33/50
Abstract: 【課題】 本発明は、複数のナノポアを封鎖した塩基を迅速、かつ、超高精度に制御することができる。したがって、スループットを向上でき、ランニングコストを削減でき、待ち時間も短縮することを目的とする。 【解決手段】 上記目標を解決するために、本発明の生体試料分析方法は、生体試料が固定された固定部材と、当該生体試料が通過する貫通孔を有する基板と、前記固定部材を駆動する駆動機構を備えた、生体試料分析装置を用い、生体試料が貫通孔を通過する時に生体試料を検出する生体試料分析方法であって、生体試料が貫通孔を封鎖したことを確認した後に固定部材を保持し、駆動機構によって固定部材を引き上げる。 【選択図】 図5
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