公开(公告)号：JP2016051536A

公开(公告)日：2016-04-11

申请号：JP2014174724

申请日：2014-08-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 牧 信行 ,  井上 智博 ,  桃井 康行 ,  小田井 正樹 ,  小川 博紀 ,  水落 真樹

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/24 ,  H01J37/22 ,  H01J37/09

Abstract: 【課題】 本発明は、振動を検出する検出器の検出信号に基づいて、適正な加振を行うことが可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明では荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを試料に照射する荷電粒子光学鏡筒と、振動を検知する振動検出器(113)と、当該振動検出器の検出信号に基づいて、前記荷電粒子光学鏡筒を加振する加振装置(114)とを備えた荷電粒子線装置であって、前記検出信号と、当該検出信号と前記荷電粒子ビームの照射によって得られる信号に基づく像ゆれとの関係情報に基づいて、前記加振装置を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置を提案する。 【選択図】 図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够基于用于检测振动的检测器的检测信号来执行适当激励的带电粒子束装置。解决方案：一种带电粒子束装置，包括带电粒子束光学镜筒，用于将样品照射 从带电粒子束源发射的带电粒子束，用于检测振动的振动检测器（113）和用于激发带电粒子束光学镜筒的激励器（114），基于来自振动检测器的检测信号，还设置有 基于通过照射带电粒子束获得的信号，基于检测信号和图像抖动的相关信息来控制激励器的控制器。图1

公开(公告)号：JP5953177B2

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：JP2012177692

申请日：2012-08-10

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 高橋 宗大 ,  小田井 正樹 ,  小川 博紀 ,  橘内 浩之 ,  辻 浩志 ,  中川 周一 ,  水落 真樹

IPC: H01J37/20

公开(公告)号：JP6364282B2

公开(公告)日：2018-07-25

申请号：JP2014174724

申请日：2014-08-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 牧 信行 ,  井上 智博 ,  桃井 康行 ,  小田井 正樹 ,  小川 博紀 ,  水落 真樹

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/24 ,  H01J37/22 ,  H01J37/09