公开(公告)号：JP6113429B2

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：JP2012163520

申请日：2012-07-24

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 佐藤 恵弥 ,  森田 一弘

IPC: H01L21/68 ,  G05B13/02 ,  H01J37/20 ,  G05D3/12

公开(公告)号：JP6214234B2

公开(公告)日：2017-10-18

申请号：JP2013132500

申请日：2013-06-25

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 佐藤 恵弥 ,  森田 一弘 ,  安藤 浩幸

IPC: H01J37/20 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  H01J37/28

公开(公告)号：JP5933985B2

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：JP2012030715

申请日：2012-02-15

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 浅尾 一成 ,  森田 一弘

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: Y02P90/12 ,  Y02P90/18

公开(公告)号：JP2015133209A

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：JP2014003500

申请日：2014-01-10

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 浅賀 雄太 ,  森田 一弘

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J37/16

Abstract: 【課題】荷電粒子線照射と並行して次の試料をロードロック室に搬入しても、ポンプやバルブの動作にともなう振動による影響を抑制することができる荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】本発明に係る荷電粒子線装置において、予備排気室とその外部を接続するバルブは、試料室の振動を検出する振動センサからその検出値を取得し、試料室の振動が抑制されるように、バルブ開閉アクチュエータを制御する。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够抑制由于泵和阀的操作引起的振动的影响的带电粒子束装置，即使当下一个样品与带电粒子束照射同时被携带到装载锁定室中时。解决方案： 在根据本发明的带电粒子束装置中，连接在初级排气室与其外部之间的阀从检测样品室的振动的振动传感器获取检测值，并且控制阀打开/关闭致动器，使得 样品室的振动被抑制。