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公开(公告)号：JP2021134824A
公开(公告)日：2021-09-13
申请号：JP2020029850
申请日：2020-02-25
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】防振性能を確保しつつ、弾性材のへたりによる弾性支持部の変形および回転機械の芯ずれを防止する。 【解決手段】防振システム50は、減速機20を支持する支持架台51と、支持架台51を支持する複数の防振装置60と、を備え、複数の防振装置60の各装置が、支持架台51を支持する弾性支持部、及び、支持架台51を支持し、弾性支持部の縦方向のたわみ量を一定量までに制限すると共に、支持架台51の横振れに応じて横滑り可能な滑り支持部のうち、少なくともいずれか一方を備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018010127A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：JP2016138538
申请日：2016-07-13
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】消音ユニットの通風路を構成する対向面に薄い吸音板を設けて、吸音板を透過する音の一部を吸音すること 【解決手段】略直方体形状の第1消音部材10aと、第1消音部材10aから離間して配置される、略直方体形状の第2消音部材10bと、第1消音部材10aおよび第2消音部材10bを接続する2つの吸音板50、52と、を有し、第2消音部材10bの方を向く第1消音部材10aの内側面22aは、音響透過性を有する部材を有し、第1消音部材10aの方を向く第2消音部材10bの内側面22bは、音響透過性を有する部材を有する、消音ユニットを提供する。 【選択図】図1A
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2019031378A
公开(公告)日：2019-02-28
申请号：JP2017153762
申请日：2017-08-09
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】ガイドレールとチェーンの擦れによる摩擦音を低減する除塵機の提供。 【解決手段】水中のごみを除塵する除塵機であってガイドレール14と当該ガイドレールに沿って回動するローラチェーン8とを有する除塵機の騒音を防止する騒音防止システムであって、除塵機の運転前及び/または運転中に、ローラチェーン8及び/またはガイドレール14に散水するか、または少なくともガイドレールを冷やすように送風する手段を有する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2019023578A
公开(公告)日：2019-02-14
申请号：JP2017142534
申请日：2017-07-24
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】風速を容易に監視できるようにする風速信号処理装置、風速信号処理システムおよび風速信号処理方法を提供する。 【解決手段】計測された風速に対応する第1風速信号にフィルタリング処理を行って第2風速信号を生成するフィルタ部と、前記第2風速信号を用いて基準信号を変調して第3風速信号を生成する変調器と、前記第3風速信号を増幅して音声再生用の第4風速信号を生成する増幅器と、を備える風速信号処理装置が提供される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021103723A
公开(公告)日：2021-07-15
申请号：JP2019234071
申请日：2019-12-25
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/304
Abstract: 【課題】基板の周縁部を複数のローラによって保持して回転させる洗浄装置において、装置構成を複雑化することなく、基板の回転速度を精度よく求めることができる技術を提供する。 【解決手段】洗浄装置は、基板の周縁部を保持する複数のローラと、前記複数のローラを回転駆動することにより前記基板を回転させる回転駆動部と、前記基板に当接して当該基板の洗浄を行う洗浄部材と、前記基板に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、前記基板の周縁部のノッチが前記複数のローラに当たることで発生する音を検知するマイクロホンと、前記マイクロホンにより検知される音に基いて、前記基板の回転速度を算出する回転速度算出部と、を備える。 【選択図】 図4
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