公开(公告)号：JP6372847B2

公开(公告)日：2018-08-15

申请号：JP2014050546

申请日：2014-03-13

Applicant: 株式会社荏原製作所 ,  国立大学法人九州工業大学

Inventor： 松尾 尚典 ,  望月 宣宏 ,  鈴木 恵友 ,  田尻 貴寛 ,  市岡 宗一郎

IPC: B24B37/20 ,  B24B53/017 ,  H01L21/304 ,  B24B49/12

CPC classification number: B24B49/12 ,  B24B53/017 ,  H01L21/3212

公开(公告)号：JP2016124053A

公开(公告)日：2016-07-11

申请号：JP2014265694

申请日：2014-12-26

Applicant: 株式会社荏原製作所 ,  国立大学法人九州工業大学

Inventor： 松尾 尚典 ,  望月 宣宏 ,  鈴木 恵友 ,  田尻 貴寛 ,  カチョーンルンルアン パナート

IPC: B24B37/00 ,  B24B49/12 ,  B24B49/18 ,  H01L21/304 ,  G01B11/30 ,  B24B37/34

CPC classification number: B24B37/005 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/4742 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0826

Abstract: 【課題】レーザ光を複数の入射角で研磨パッドに入射させることにより、CMP性能を反映した研磨パッドの表面性状を測定することができる研磨パッドの表面性状測定方法および装置を提供する。 【解決手段】研磨パッド2の表面にレーザ光を照射し、研磨パッド表面で反射された光を受光してフーリエ変換することで、研磨パッド2の表面性状を求める研磨パッド2の表面性状測定方法であって、複数の角度で研磨パッド2にレーザ光を入射せしめる。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于测量抛光垫的表面性能的方法和装置，该抛光垫能够测量通过使激光束入射到抛光垫上而反射CMP（化学机械抛光）性能的抛光垫的表面性质 多个入射角。解决方案：在用于测量抛光垫2的表面性质的方法中，通过用激光束照射抛光垫2的表面，接收在表面上反射的光来确定抛光垫2的表面性质 并进行光的傅里叶变换。 激光束以多个角度入射在抛光垫2上。选择图：图2

公开(公告)号：JP6465345B2

公开(公告)日：2019-02-06

申请号：JP2014265694

申请日：2014-12-26

Applicant: 株式会社荏原製作所 ,  国立大学法人九州工業大学

Inventor： 松尾 尚典 ,  望月 宣宏 ,  鈴木 恵友 ,  田尻 貴寛 ,  カチョーンルンルアン パナート

IPC: B24B53/017 ,  B24B49/12 ,  B24B49/18 ,  H01L21/304 ,  G01B11/30 ,  B24B37/34

公开(公告)号：JP2015174156A

公开(公告)日：2015-10-05

申请号：JP2014050546

申请日：2014-03-13

Applicant: 株式会社荏原製作所 ,  国立大学法人九州工業大学

Inventor： 松尾 尚典 ,  望月 宣宏 ,  鈴木 恵友 ,  田尻 貴寛 ,  市岡 宗一郎

IPC: B24B37/11 ,  B24B37/00 ,  B24B53/00 ,  H01L21/304 ,  B24B49/12

CPC classification number: B24B49/12 ,  B24B53/017

Abstract: 【課題】研磨パッド上に液膜が存在する状態で研磨パッドの表面性状を測定することができる研磨パッドの表面性状測定装置を備えた研磨装置を提供する。また、本発明は、研磨パッドの表面性状の測定結果に基づいて運転条件を設定して、研磨やドレッシングを行う研磨方法を提供する。 【解決手段】研磨パッド2上で液体を堰き止めて研磨パッド2上の少なくとも一部の領域に所定以上の厚さの液膜を形成するための堰5と、堰5により形成された液膜中に投光端を持ち、研磨パッド2にレーザ光を投光する投光部31と、堰5により形成された液膜中にあって、投光部31から投光された後に研磨パッド2の表面性状により複数の角度で散乱および跳ね返された光を受光する受光部32と、受光部32で受光した光を、反射強度分布に対応する所定の波長にフーリエ変換してパッド表面性状の特徴量を求める演算部35とを備えた。 【選択図】図3

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种抛光装置，其包括用于抛光垫的表面质量测量装置，其可以在抛光垫上存在液膜的状态下测量抛光垫的表面质量，并且还提供抛光方法 通过基于测量抛光垫的表面质量的结果设置操作条件进行抛光和修整。抛光装置包括：用于在抛光垫2上阻止液体的坝5，以形成液膜 在抛光垫2的至少部分区域中具有规定厚度或更大的厚度; 一个突出部分31，在由水坝5形成的液膜中具有一个光投射端，并将激光束投射在抛光垫2上; 光接收部分32，其设置在由堤坝5形成的液膜中，并且在从光投射部分31发出的光投射之后，根据抛光垫2的表面质量以多个角度接收光散射和反弹; 以及将由光接收部32接收的光进行傅里叶变换为与反射强度分布对应的规定波长的运算部35，从而获得衬垫表面质量的特征量。