公开(公告)号：JP3604596B2

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：JP24744999

申请日：1999-09-01

Applicant: 株式会社林原生物化学研究所 ,  株式会社豊田中央研究所

Inventor： 篤志 三浦 ,  康訓 多賀 ,  静士 時任 ,  真 皐月 ,  昭 神宝 ,  貞治 菅 ,  久喜 藤川

IPC: C07D491/16 ,  C09K11/06 ,  H01L51/50 ,  H05B33/14

公开(公告)号：JP3941627B2

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：JP2002229914

申请日：2002-08-07

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 篤志 三浦 ,  康訓 多賀 ,  邦夫 明渡 ,  久喜 藤川 ,  浩司 野田

IPC: B32B9/00 ,  G02F1/1333 ,  C23C16/30

公开(公告)号：JP4258160B2

公开(公告)日：2009-04-30

申请号：JP2002082037

申请日：2002-03-22

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 篤志 三浦 ,  康訓 多賀 ,  邦夫 明渡 ,  久喜 藤川 ,  浩司 野田

IPC: H05B33/04 ,  H01L51/50 ,  H01L51/52 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

CPC classification number: H01L51/5253 ,  H01L51/5256

公开(公告)号：JP5521510B2

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：JP2009270365

申请日：2009-11-27

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 壮史 野村 ,  久喜 藤川 ,  和夫 佐藤 ,  大介 井上 ,  篤志 三浦 ,  慎太郎 山崎

IPC: G02B5/30 ,  G02B6/12 ,  G02F1/01 ,  G02F1/29 ,  H01Q15/12

公开(公告)号：JP4622563B2

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：JP2005033168

申请日：2005-02-09

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 篤志 三浦 ,  康訓 多賀 ,  邦夫 明渡 ,  久喜 藤川 ,  浩司 野田

IPC: H05B33/22 ,  C23C14/06 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/04 ,  H05B33/10

公开(公告)号：JP3716732B2

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：JP2000304121

申请日：2000-10-03

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 篤志 三浦 ,  康訓 多賀 ,  静士 時任 ,  朋彦 森 ,  久喜 藤川 ,  敏泰 鈴木 ,  洋一 阪元

IPC: H01L51/50 ,  C07C25/18 ,  C07C25/22 ,  C09K11/06 ,  H05B33/22

CPC classification number: H01L51/004

公开(公告)号：JP4797247B2

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：JP2001011354

申请日：2001-01-19

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 篤志 三浦 ,  達也 五十嵐 ,  康訓 多賀 ,  健史 大脇 ,  久 岡田 ,  昌彦 石井 ,  浩司 野田

IPC: H01L51/50 ,  C09K11/06 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22

CPC classification number: Y02B20/181

公开(公告)号：JP4631600B2

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：JP2005240109

申请日：2005-08-22

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 篤志 三浦 ,  敏一 佐藤 ,  康訓 多賀 ,  邦夫 明渡 ,  久喜 藤川 ,  浩司 野田

IPC: H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/28

公开(公告)号：JP4400636B2

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：JP2007051748

申请日：2007-03-01

Applicant: 株式会社豊田中央研究所

Inventor： 篤志 三浦 ,  邦夫 明渡 ,  久喜 藤川 ,  浩司 野田

IPC: C23C16/42 ,  C23C16/50 ,  H01L21/318 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L51/50 ,  H05B33/04

CPC classification number: H01L21/3185 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/5256 ,  H01L2251/5346 ,  H01L2251/55

Abstract: A barrier film formed on top of a substrate, a barrier film formed so as to cover a functional element region fabricated on top of a substrate, or a barrier film formed on both a substrate and a functional element region, wherein the barrier film includes at least one layer of a silicon nitride film formed by laminating two or more silicon nitride layers having different Si/N composition ratios.