公开(公告)号：JP2019203098A

公开(公告)日：2019-11-28

申请号：JP2018100210

申请日：2018-05-25

申请人： 熊本県 ,  国立大学法人 熊本大学 ,  濱田重工株式会社

发明人： 永岡 昭二 ,  堀川 真希 ,  城崎 智洋 ,  龍 直哉 ,  林 佳菜子 ,  伊原 博隆 ,  高藤 誠 ,  古賀 正樹

IPC分类号： H01L21/304 ,  C09G1/02 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

摘要： 【課題】研磨レートの向上に寄与する研磨液を提供する。 【解決手段】研磨液は、中性のpH領域においてマイナスの表面電荷を有するダイヤモンドなどの砥粒と、中性のpH領域においてプラスの表面電荷を有するキトサンなどの多糖からなる多糖ファイバーとを含んでいる。研磨液において、砥粒と多糖ファイバーとが凝集物を形成している。多糖ファイバーは、その繊維径がナノサイズである。研磨液は、pHが5.8以上になるように設定されている。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP6744611B2

公开(公告)日：2020-08-19

申请号：JP2018100210

申请日：2018-05-25

申请人： 熊本県 ,  国立大学法人 熊本大学 ,  濱田重工株式会社

发明人： 永岡 昭二 ,  堀川 真希 ,  城崎 智洋 ,  龍 直哉 ,  林 佳菜子 ,  伊原 博隆 ,  高藤 誠 ,  古賀 正樹

IPC分类号： H01L21/304 ,  C09G1/02 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14