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发明专利
透明導電性炭素膜の製造方法有权
Title translation: 用于制造透明导电性碳薄膜的制造方法

公开(公告)号：JP5692794B2

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：JP2011041749

申请日：2011-02-28

Applicant: 独立行政法人産業技術総合研究所

Inventor： 金載浩 , 石原正統 , 古賀義紀 , 津川和夫 , 長谷川雅考 , 飯島澄男 , 山田貴壽

IPC: H01B13/00 , H01B5/02 , H01B5/14 , C01B31/02

CPC classification number: C23C16/511 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B31/0461 , C23C16/26 , C23C16/545 , H01B1/04

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