公开(公告)号：KR20210033061A

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：KR1020217007784A

申请日：2019-07-30

申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼

发明人： 준이츠 야마카와 ,  준후이 도우 ,  리사 기무라 ,  도시오 요코야마

IPC分类号： C25D21/14 ,  C25D3/38 ,  C25D7/12 ,  C25D21/10 ,  H05K3/18

CPC分类号： B22F1/00 ,  C25D21/10 ,  C25D21/14 ,  C25D3/38 ,  C25D7/12 ,  H05K3/188

摘要： 본 발명은, 불용해 애노드를 이용한 기판의 도금에 사용되는 산화구리 고형물에 관한 것이다. 또한 본 발명은, 해당 산화구리 고형물을 제조하는 방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은, 산화구리 고형물이 용해된 도금액을 도금조에 공급하기 위한 장치에 관한 것이다. 기판(W)의 도금용의 도금액에 공급되는 산화구리 고형물(CS)은, 산화구리 분체와, 산화구리 분체를 고형화하는 바인더로서의 액체를 포함한다.