公开(公告)号：KR20210024344A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：KR1020190103025A

申请日：2019-08-22

申请人： 삼성디스플레이 주식회사

发明人： 이성용 ,  토시나루 스즈키 ,  명승호 ,  한경희 ,  한규완

IPC分类号： B23K26/12

CPC分类号： B23K26/38 ,  B23K26/362 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/127 ,  B23K26/128 ,  B23K26/382 ,  B23K26/706 ,  B23K2101/40

摘要： 레이저 장치가 제공된다. 레이저 장치는 대상 기판이 가공되는 제1 진공 챔버, 상기 제1 진공 챔버의 외부에 배치된 레이저 모듈, 상기 제1 진공 챔버의 내부에 배치되고, 상기 대상 기판이 안착되는 캐리어, 상기 제1 진공 챔버의 일면에 배치되고, 상기 레이저 모듈에 의해 조사된 레이저 빔이 통과하는 챔버 윈도우, 상기 캐리어와 상기 챔버 윈도우 사이에 위치하는 제1 보호 윈도우, 상기 제1 진공 챔버의 일측에 배치된 제2 진공 챔버, 및 상기 제1 보호 윈도우를 상기 제2 진공 챔버로 이송하는 이송부를 포함한다.